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半導体シリコンエピタキシャル成長の反応・装置・プロセスの理解と工夫

半導体の結晶とデバイスの生産に不可欠な技術

半導体シリコンエピタキシャル成長の反応・装置・プロセスの理解と工夫

~エピタキシャル成長過程の根幹である化学反応とガス流れを学ぶ / 原理と理論を理解し、課題を解決して行く視点と方法を得る~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、半導体シリコンエピタキシャル成長の主要な原料であるクロロシランを使う系を対象とし、成長過程の根幹である化学反応とガス流れを中心に解説いたします。

開催日

  • 2021年11月24日(水) 10時30分 16時30分

修得知識

  • エピタキシャル成長を含めた化学気相堆積 (CVD) 法の基本現象
  • 複数の現象が並列して進行する過程を理解する方法
  • ガス流れの効果、役割と設計
  • 化学反応の理解と設計
  • 鍵となる現象をとらえれば、全てが繋がって見えて来ること

プログラム

 エピタキシャル成長は、半導体の結晶とデバイスの生産に不可欠な技術です。
 本講座では、半導体シリコンエピタキシャル成長の主要な原料であるクロロシランを使う系を対象とし、成長過程の根幹である化学反応とガス流れを中心に解説します。生産装置の実例を解析した結果をもとに、エピタキシャル成長の原理と理論を知って理解し、それをもとに課題を解決して行く視点と方法を得ることを目指します。さらに、今後の改善と課題解決に役立つ方法を紹介します。

    1. 半導体シリコン結晶の特徴
    2. エピタキシャル成長に用いられている装置の種類と特徴
  1. 基礎編
    1. 主要なエピタキシャル成長装置におけるガス流れ
    2. 反応解析と速度論
      1. クロロシランによるエピタキシャル成長時に観察される気相化学種の分析例
      2. 気相化学種の挙動から推定される化学反応
      3. エピタキシャル成長の反応速度式と検証
    3. ドーピング
      1. ジボランによるホウ素ドーピングの化学反応過程と反応速度式
      2. ガス流れとオートドーピングの挙動
    4. 基板回転
      1. 基板回転の役割
      2. 高速回転により実現されること
    5. 副生成物
      1. クロロシランにより生じる排ガス管副生成物
      2. 副生成物の発生機構と事故例
      3. 副生成物減少法
    6. シリコン基板表面の自然酸化膜を除去する方法 (高温と低温)
  2. 展開編
    1. 反応の工夫
      1. ラングミュア型エピタキシャル成長速度の理論限界を超える方法 (並列ラングミュア過程)
    2. 三塩化ホウ素ガスの活用
      1. 三塩化ホウ素ガスの挙動
      2. 三塩化ホウ素とクロロシランによる製膜 (高濃度ホウ素ドーピング)
    3. ガス種と装置内流れ
      1. クロロシランの種類によるガス流れの変化
    • 質疑応答

講師

  • 羽深 等
    横浜国立大学 大学院 理工学府 化学・生命系理工学専攻
    教授

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 30,400円 (税別) / 33,440円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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