技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーは、スパッタリングプロセスの基礎から解説し、現場において遭遇する様々なトラブルに対応する力を身に付けることを目標としております。
スパッタリング法は、工業的に広く使われている薄膜作製法である。スパッタリング法の特徴として、基板温度を上げることなく、物性に優れた薄膜が得られるということが挙げられる。これは、スパッタリング法においてターゲットから発生した粒子が大きなエネルギーを持つがゆえである。
しかしながら、同時にこのスパッタ粒子の大きなエネルギーが異物の発生を引き起こしたり、薄膜に大きな応力を残留させたりするという短所をも生じさせることになる。応力の残留と、それにともなう付着力の低下はプロセスやデバイスの信頼性を保証する上での大きな問題であり、スパッタリング生産において必ず遭遇する問題であるともいえる。
本講演では、スパッタリング法の技術基盤を学んでいくことにより、生産あるいは技術開発の現場において遭遇するいろいろなトラブルに対応する力を身につけていくことを目標とし、スパッタリングプロセスの特徴とスパッタリングプロセスにより得られる薄膜物性の特徴を解説する。生産あるいは技術開発の現場で活躍するエンジニアに必須の講義である。
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複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2024/6/28 | ポリイミド入門講座 | オンライン | |
2024/7/2 | 塗装・コーティング現場のゴミ・異物対策実践セミナー | 東京都 | 会場・オンライン |
2024/7/3 | スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング | オンライン | |
2024/7/10 | フッ素樹脂をはじめとするPFASの基礎と欧州PFAS規制の動向および用途別の代替手段 | オンライン | |
2024/7/11 | ポリイミド入門講座 | オンライン | |
2024/7/12 | 高屈折率材料の分子設計、合成手法と屈折率の測定方法 | オンライン | |
2024/7/12 | ウェットコーティングの基礎と単層、多層塗布方式の解説、塗布トラブル対策 | オンライン | |
2024/7/23 | プラスチックの加飾技術と最新動向 | オンライン | |
2024/7/24 | 高屈折率材料の分子設計、合成手法と屈折率の測定方法 | オンライン | |
2024/7/25 | 基礎から理解するポリイミドの高性能化・機能化設計 | オンライン | |
2024/7/29 | 無機ナノ粒子の総合知識 | 東京都 | 会場・オンライン |
2024/7/30 | プラズマ生成の基礎とプラズマCVD (化学気相堆積) による高品質成膜プロセスのノウハウ | オンライン | |
2024/8/7 | 無機ナノ粒子の総合知識 | オンライン | |
2024/10/11 | ウェットコーティング・単層、重層塗布方式の基礎とダイ膜厚分布・特許・塗布故障 | オンライン |
発行年月 | |
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2008/3/19 | 多孔体の精密制御と機能・物性評価 新装版 |
2006/8/31 | 基礎から学ぶ事例をふまえたコロナ処理技術 |
1991/8/1 | 液晶パネル製造プロセス技術 |
1991/3/1 | 光学薄膜技術 |
1990/12/25 | 磁性薄膜の測定法 |
1987/11/1 | 最新小型モータ用材料の開発・応用 |
1986/11/1 | プラスチック光学部品コーティング技術 |
1986/4/1 | 最新薄膜作製・加工・評価技術 |