技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、レジスト、マスク、ペリクル、光源など、各要素技術の開発動向と課題解決へ向けた取り組みについて詳解いたします。
EUVリソグラフィ技術は2019年より最先端の半導体量産技術として適用されました。欧米、アジアを中心に半導体技術の世界覇権争いが激化しています。このような状況の中で、EUVリソグラフィ技術開発の黎明期から、現在、そして今後の展望を正しく理解し、今後の半導体およびその周辺技術開発に生かして頂きたいと考えています。これを目的にして、EUVリソグラフィの光学系、レジスト、マスク、ペリクル技術に加えて、これらの評価技術について紹介します。兵庫県立大学では1996年より25年間に亘り、EUVリソグラフィの基盤技術開発に取り組んで参りました。ニュースバル放射光施設でのEUVリソグラフィ技術開発にも言及したいと存じます。
学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院の教員、学生に限ります。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2024/12/10 | 樹脂部品の特性と材料費/加工費/型費の概算法から検図法まで学ぶ超実務設計 | オンライン | |
| 2024/12/10 | 高分子材料の劣化・変色技術の基礎と防止処方技術 | オンライン | |
| 2024/12/10 | フィラー最密充填構造設計とポリマー系複合材料の高熱伝導化 | オンライン | |
| 2024/12/11 | 低誘電特性樹脂の技術開発動向と設計手法 | オンライン | |
| 2024/12/11 | ポリマー・高分子材料のモノマー化・解重合技術の基礎とケミカルリサイクルの技術動向 | オンライン | |
| 2024/12/11 | チクソ性の基礎、制御、測定・評価と実用系への活用方法 | オンライン | |
| 2024/12/13 | 高分子絶縁材料の劣化・絶縁破壊メカニズムと計測・データ解釈法 | オンライン | |
| 2024/12/13 | プラスチック加飾技術の最新動向と今後の展望 | オンライン | |
| 2024/12/13 | エポキシ樹脂の基礎、硬化剤との反応および副資材による機能化 | オンライン | |
| 2024/12/16 | エポキシ樹脂の最新技術動向と設計技術および今後の課題 | オンライン | |
| 2024/12/16 | 架橋剤を使うための総合知識 | オンライン | |
| 2024/12/16 | フィラー最密充填構造設計とポリマー系複合材料の高熱伝導化 | オンライン | |
| 2024/12/16 | 熱可塑性エポキシ樹脂の基礎と応用 | オンライン | |
| 2024/12/17 | 高感度化フォトレジスト材料の合成・設計・開発技術 | オンライン | |
| 2024/12/17 | 天然植物繊維を強化材とする複合材料の基礎と応用 | 東京都 | 会場 |
| 2024/12/17 | 3Dプリンティング技術の最新動向と今後の展望 | オンライン | |
| 2024/12/17 | プラスチックリサイクル技術の現状・課題・最新動向 | オンライン | |
| 2024/12/17 | 静的・動的光散乱法を中心とした粒径計測の基礎と応用 | オンライン | |
| 2024/12/17 | シリコーンの基本知識と高機能化・トラブル対策 | オンライン | |
| 2024/12/18 | 加工の基礎と機械加工技術 | オンライン |