技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、レジスト、マスク、ペリクル、光源など、各要素技術の開発動向と課題解決へ向けた取り組みについて詳解いたします。
EUVリソグラフィ技術は2019年より最先端の半導体量産技術として適用されました。欧米、アジアを中心に半導体技術の世界覇権争いが激化しています。このような状況の中で、EUVリソグラフィ技術開発の黎明期から、現在、そして今後の展望を正しく理解し、今後の半導体およびその周辺技術開発に生かして頂きたいと考えています。これを目的にして、EUVリソグラフィの光学系、レジスト、マスク、ペリクル技術に加えて、これらの評価技術について紹介します。兵庫県立大学では1996年より25年間に亘り、EUVリソグラフィの基盤技術開発に取り組んで参りました。ニュースバル放射光施設でのEUVリソグラフィ技術開発にも言及したいと存じます。
学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院の教員、学生に限ります。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2024/11/15 | 各樹脂別の難燃化技術と難燃剤のブリードアウト、その対策 | オンライン | |
| 2024/11/19 | 光硬化型材料の基礎と応用のポイント | オンライン | |
| 2024/11/19 | 粘着・剥離のメカニズムとその制御 | オンライン | |
| 2024/11/21 | 二軸スクリュ押出機を用いたリアクティブプロセシング技術の基礎から応用へ | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2024/11/21 | 架橋技術によるポリマーの性能向上と物性・特性改良方法 | オンライン | |
| 2024/11/21 | 高分子結晶化の基礎と解析技術および結晶成長 | オンライン | |
| 2024/11/22 | マレイン酸変性による樹脂複合材料の界面密着性向上とその構造分析 | オンライン | |
| 2024/11/22 | 押出混練機内の樹脂挙動と混練評価、最適化技術 | 東京都 | オンライン |
| 2024/11/22 | エポキシ樹脂の基礎および各硬化剤の使い方・選び方 | オンライン | |
| 2024/11/22 | プラスチック射出成形の基礎知識とトラブルシューティング | オンライン | |
| 2024/11/22 | 高分子結晶化のトポロジー的メカニズムとその制御 | オンライン | |
| 2024/11/25 | バイオマスフィラーの樹脂への分散、複合化技術 | オンライン | |
| 2024/11/26 | 光学用透明樹脂の基礎、屈折率制御および光吸収・散乱メカニズムと高透明化 | オンライン | |
| 2024/11/26 | ポリマー・高分子材料のモノマー化・解重合技術の基礎とケミカルリサイクルの技術動向 | オンライン | |
| 2024/11/27 | 光硬化型材料の基礎と応用のポイント | オンライン | |
| 2024/11/27 | ゴム・プラスチック材料の破損、破壊原因とその解析法 | 東京都 | 会場 |
| 2024/11/27 | プラスチック成形品における残留ひずみの発生メカニズムおよび対策とアニール処理技術 | オンライン | |
| 2024/11/27 | プラスチックのマテリアルリサイクル技術入門 | オンライン | |
| 2024/11/27 | 加速する国内外のプラスチック規制の動向とリサイクルの最新事情 | オンライン | |
| 2024/11/27 | 粘着・剥離のメカニズムとその制御 | オンライン |