技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー

EUVリソグラフィの最新動向と課題解決への技術開発

Zoomを使ったライブ配信セミナー

EUVリソグラフィの最新動向と課題解決への技術開発

~光学系、レジスト、マスク、ペリクルと評価技術~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、レジスト、マスク、ペリクル、光源など、各要素技術の開発動向と課題解決へ向けた取り組みについて詳解いたします。

開催日

  • 2020年8月27日(木) 10時30分 16時30分

受講対象者

  • 紫外線硬化樹脂に関連する技術者、開発者、研究者
    • ナノインプリント
    • 電子部品・光学部品などの接着・乾燥
    • 印刷インキの乾燥
    • 塗料・塗装コーティング剤の乾燥・硬化
    • 光ファイバ等の保護コーティング
    • 光造形
    • 3Dプリンター
    • ジェルネイル等の装飾品 など
  • 紫外線硬化樹脂の初心者、これからUV硬化性樹脂の開発に携わる方
  • 紫外線硬化処理で課題を抱えている方

プログラム

 EUVリソグラフィ技術は2019年より最先端の半導体量産技術として適用されました。欧米、アジアを中心に半導体技術の世界覇権争いが激化しています。このような状況の中で、EUVリソグラフィ技術開発の黎明期から、現在、そして今後の展望を正しく理解し、今後の半導体およびその周辺技術開発に生かして頂きたいと考えています。これを目的にして、EUVリソグラフィの光学系、レジスト、マスク、ペリクル技術に加えて、これらの評価技術について紹介します。兵庫県立大学では1996年より25年間に亘り、EUVリソグラフィの基盤技術開発に取り組んで参りました。ニュースバル放射光施設でのEUVリソグラフィ技術開発にも言及したいと存じます。

  1. リソグラフィ技術全般について
  2. EUVリソグラフィ技術の重要性について
  3. EUVリソグラフィの開発の歴史
  4. EUリソグラフィの技術課題
  5. EUV用光学系および多層膜技術について
  6. EUV用レジスト材料・プロセス技術について
  7. EUV用マスク技術について
  8. EUV用ペリクル技術について
  9. 今後のEUVリソグラフィ技術動向
  10. 今後の半導体技術展望
    • 質疑応答

講師

  • 渡邊 健夫
    兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
    所長 / 教授

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 60,000円 (税別) / 66,000円 (税込)
複数名
: 55,000円 (税別) / 60,500円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、
    1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院の教員、学生に限ります。

本セミナーは終了いたしました。

これから開催される関連セミナー

開始日時 会場 開催方法
2025/3/26 プラスチックの疲労破壊と耐久性評価技術 オンライン
2025/3/26 プラスチックの難燃化技術の基礎と技術動向 オンライン
2025/3/27 ポリウレタンの基礎知識および応用展開と高機能化技術 オンライン
2025/3/27 粘度の基礎と実用的粘度測定における留意点と結果の解釈 オンライン
2025/3/27 高分子の相溶性と相分離および結晶化の基礎 オンライン
2025/3/27 廃プラスチックのリサイクル最新動向 東京都 会場・オンライン
2025/3/28 高分子材料のレオロジー (粘弾性) の基礎と動的粘弾性測定 オンライン
2025/3/28 フェノール樹脂の基礎と応用のための組成物設計の実務知識 オンライン
2025/3/28 押出成形のトラブル対策 Q&A講座 オンライン
2025/3/28 光学樹脂における屈折率・複屈折の考え方とその測定・制御 オンライン
2025/3/28 固体高分子の破壊とタフニング オンライン
2025/3/28 樹脂部品開発のためのCAE (Computer Aided Engineering) オンライン
2025/3/28 チクソ性の基礎、制御、測定・評価と実用系への活用方法 オンライン
2025/3/28 フィルムの延伸・分子配向の基礎、過程現象の解明と構造形成、物性発現、評価方法 オンライン
2025/3/31 高屈折率ポリマーの合成法と応用、およびそれらの評価方法 オンライン
2025/4/2 プラスチックの疲労破壊と耐久性評価技術 オンライン
2025/4/4 プラスチックの難燃化技術 オンライン
2025/4/9 動的粘弾性のチャート読み方とその活用ノウハウ オンライン
2025/4/9 レオロジーの基礎と測定法 オンライン
2025/4/9 レオロジーの基礎と測定法 オンライン

関連する出版物

発行年月
2024/7/29 サステナブルなプラスチックの技術と展望
2024/7/22 世界のレトルトフィルム・レトルトパウチの実態と将来展望 2024-2026
2024/7/22 世界のレトルトフィルム・レトルトパウチの実態と将来展望 2024-2026 (書籍版 + CD版)
2024/7/17 世界のリサイクルPET 最新業界レポート
2024/6/28 ハイドロゲルの特性と作製および医療材料への応用
2024/5/30 PETボトルの最新リサイクル技術動向
2024/2/29 プラスチックのリサイクルと再生材の改質技術
2023/10/31 エポキシ樹脂の配合設計と高機能化
2023/7/31 熱可塑性エラストマーの特性と選定技術
2023/7/14 リサイクル材・バイオマス複合プラスチックの技術と仕組
2023/3/31 バイオマス材料の開発と応用
2023/1/31 液晶ポリマー (LCP) の物性と成形技術および高性能化
2023/1/6 バイオプラスチックの高機能化
2022/10/5 世界のプラスチックリサイクル 最新業界レポート
2022/8/31 ポリイミドの高機能設計と応用技術
2022/5/31 樹脂/フィラー複合材料の界面制御と評価
2022/5/31 自動車マルチマテリアルに向けた樹脂複合材料の開発
2022/5/30 世界のバイオプラスチック・微生物ポリマー 最新業界レポート
2021/12/24 動的粘弾性測定とそのデータ解釈事例
2021/7/30 水と機能性ポリマーに関する材料設計、最新応用