技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、プラズマエッチングについて基礎から解説いたします。
歩留まり低下やデバイスの信頼性劣化を引き起こすプラズマダメージの制御のために必要な知識を網羅的に解説いたします。
現在、超微細半導体デバイスをはじめ、さまざまなデバイス製造において、プラズマプロセスは重要な役割を担っている。例えば、プラズマエッチングにおいては、想定外のプラズマとデバイス (固体) との相互作用が、デバイス特性・信頼性へ影響を及ぼす。この現象は、プラズマ誘起ダメージと呼ばれ、製造装置設計、プロセス設計、デバイス設計、回路設計において大きな問題となっている。それら現象の基礎的理解は、研究開発のみならず、生産現場でのプロセス管理においても重要である。しかしながら、一般の専門書だけでは、最先端のプラズマエッチングの実用上の課題であるプラズマ誘起ダメージを把握し、制御することは困難である。
本講座では、近年重要視されているプラズマエッチングの技術課題として、プラズマ誘起ダメージをとりあげる。近年のデバイスの3次元化に伴う新しいプラズマダメージ形成機構や、デバイス設計に必要なデバイス劣化モデル、材料設計に必要な原子レベルでのプラズマダメージモデル、およびその制御について議論する。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2024/6/5 | プラズマCVDによるナノ・微粒子材料の作製技術とプロセスモニタリング | オンライン | |
2024/6/6 | めっき技術の基礎と品質トラブル対策 | 東京都 | 会場 |
2024/6/7 | めっきの基礎および不良要因とその対策 | オンライン | |
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2024/6/7 | 塗布膜乾燥の基本とプロセス・現象・本質の理解&最適化と欠陥・トラブル対策 | オンライン | |
2024/6/11 | 塗布膜におけるぬれ・広がり挙動、乾燥中の粒子挙動とその制御 | オンライン | |
2024/6/13 | めっき膜の密着性改善・剥離対策の考え方と分析・解析手法 | オンライン | |
2024/6/13 | トライボロジーの基礎、メカニズムと表面分析 | オンライン | |
2024/6/18 | 起泡・消泡の基礎および評価のポイント | オンライン | |
2024/6/19 | 塗布膜乾燥の基本とプロセス・現象・本質の理解&最適化と欠陥・トラブル対策 | オンライン | |
2024/6/20 | プラズマエッチング装置・プロセスにおける不良発生の検知技術と部材のプラズマ耐性向上技術 | オンライン | |
2024/6/20 | めっき技術/新めっき技術と半導体・エレクトロニクスデバイスへの応用・最新動向 | オンライン | |
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2024/6/24 | シランカップリング剤のメカニズムと使用方法 | オンライン | |
2024/6/25 | 界面・表面、応力影響、剥離・破壊の基本知識と密着性の改善技術と評価方法 | 東京都 | 会場・オンライン |
2024/6/27 | ぬれ性の基礎と滑水性の評価・制御 | オンライン | |
2024/6/27 | 大気圧プラズマの基礎知識 | オンライン | |
2024/7/2 | 塗装・コーティング現場のゴミ・異物対策実践セミナー | 東京都 | 会場・オンライン |
2024/7/10 | フッ素樹脂をはじめとするPFASの基礎と欧州PFAS規制の動向および用途別の代替手段 | オンライン |
発行年月 | |
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2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 |
2012/6/1 | 超撥水・超親水化のメカニズムとコントロール |
2012/3/5 | 大気圧プラズマの生成制御と応用技術 改訂版 |
2008/3/19 | 多孔体の精密制御と機能・物性評価 新装版 |
2006/8/31 | 基礎から学ぶ事例をふまえたコロナ処理技術 |
1987/11/1 | 最新小型モータ用材料の開発・応用 |
1986/11/1 | プラスチック光学部品コーティング技術 |