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2018年 EUVリソグラフィ技術 最新概論と日本企業の商機

2018年 EUVリソグラフィ技術 最新概論と日本企業の商機

～微細加工の現状、要素技術への要件、今後の展望 / レジスト、ペリクル、反射型マスク、反射縮小光学系、光源 etc.～
東京都 開催 会場 開催
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開催日

  • 2018年2月26日(月) 10時30分 ～ 16時30分

受講対象者

  • 極端紫外線リソグラフィ EUVL に関連する技術者、開発者、研究者
    • 半導体
    • プリント基板
    • 印刷版
    • 液晶ディスプレイパネル
    • プラズマディスプレイパネル
    • 光源 など

プログラム

　EUV光源開発の遅れから、延び延びとなっていた極端紫外線露光 (EUVL) を用いたデバイス試作が2018年度から本格化する状況になってきた。理由はレーザープラズマ光源の出力が250Wに届き、スループット180枚が見えてきた事。また、IBM等が2015年にEUVL露光により7nmノードのFinFETトランジスターの試作、さらに、今年度5nmノードのナノシートトランジスターの試作に成功するなど、スマートフォンのほか、AI活用といったコグニティブコンピューティングなどIoT社会に向けて要求を満たす開発が待望されている。
　EUVLはレーザープラズマ光源、反射縮小光学系、反射型マスク、ペリクル、レジストなど既存のArF技術とは異なる技術となり、7nmノードでは対応する技術が出来つつあるが、5nm以下ではさらなる新技術の開発も必要となる。これらの開発要素技術に関する知見が得られると考えている。
　国内でのEUVLを用いたデバイス開発は考えにくく、むしろ、光源廻り、照明光学系など装置系、マスク、レジスト、ペリクルなど薄膜技術、デブリー除去技術などインフラ系に商機があると考えられる。講演会では、出来るだけ要点を絞り、分かり易く解説する。
　本講演では、EUVL開発の現状と今後に必要となる要素技術について詳述する。

  1. はじめに
    1. EUVLの概要
    2. なぜEUVLか?
    3. なぜ13.5nmか?
    4. EUVLを用いた7nm,、5nmトランジスターの試作の概要
    5. CoO比較など
    6. EUVLの今後の課題
  2. EUV光源
    1. 光源の要求条件
    2. LPP光源の現状と課題
  3. 多層膜技術
    1. 多層膜の概要
    2. 多層膜の設計法
    3. 多層膜の成膜技術
    4. 多層膜の評価
  4. 反射縮小光学系
    1. 反射光学系の要求条件
    2. 反射光学系の設計法
    3. ミラーの加工法と評価
    4. ミラー光学系の合わせ法
  5. 反射型マスク
    1. マスクの要求条件
    2. マスクの構造
    3. マスクの製作法
  6. EUVマスク欠陥検査
  7. EUVL用レジスト
    1. EUVLレジストの要求条件
    2. 化学増幅レジストの現状
    3. 無機レジスト等最近のレジスト開発状況
  8. EUVLペリクル
    1. EUVペリクルの要求条件
    2. EUVペリクルの開発の現状
  9. 最近の装置開発の現状と今後の課題
    • 質疑応答・名刺交換
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講師

  • 木下 博雄 氏
    兵庫県立大学 産学連携・研究推進機構
    副機構長 / 特任教授
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会場

品川区立総合区民会館 きゅりあん

5F 第4講習室

東京都 品川区 東大井5丁目18-1
品川区立総合区民会館 きゅりあんの地図
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主催

サイエンス＆テクノロジー 株式会社
お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 42,750円 (税別) / 46,170円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,300円 (税込)

複数名同時受講の割引特典について

  • 2名様以上でお申込みの場合、
    1名あたり 22,500円(税別) / 24,300円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,750円(税別) / 46,170円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 48,600円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 72,900円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
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