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静電気の基礎と除電技術の勘どころ

静電気の基礎と除電技術の勘どころ

~静電気の基礎から静電気対策全般 / イオナイザーの適切な選定や使用、除電性能の評価 / クリーンルーム・各種製造プロセスでの除電技術とそのノウハウ~
東京都 開催

概要

本セミナーでは、静電気の基礎について説明し、半導体・液晶製造等のクリーンルームにおける静電気障害について触れ、イオナイザーの除電原理、種類と特徴、具体的な選定方法と使用上の注意点、除電性能評価方法について解説いたします。

開催日

  • 2018年1月25日(木) 13時00分 16時30分

受講対象者

  • 静電気対策が必要な製品に関連する技術者
    • 粉体
    • 塗料
    • 電子機器
    • 粘着フィルム など
  • クリーンルーム管理、実務の担当者
    • 工業用途
      • 精密機械
      • 半導体製造
      • 電子機器・エレクトロニクス
      • 液晶工場
      • ガラス・光学加工
      • プラスチック成形
      • 塗装
      • フィルム加工
    • 医療用途
      • 研究室
      • 無菌室
      • 手術室
    • 食品用途
      • 調理場
      • 製造ライン
    • 製薬工場
    • バイオハザード施設
    • 動物実験施設
    • RI (環境) 施設

修得知識

  • 静電気の基礎
  • クリーンルームにおける静電気障害と静電気対策・除電技術とノウハウ
  • イオナイザーの適切な選定方法や使用方法
  • イオナイザーの除電性能の評価方法
  • イオナイザーをクリーンルームで使用する上での注意点
  • 最新のクリーンルーム用イオナイザー

プログラム

 半導体・液晶製造、医薬品製造、フィルム製造等の工場 (クリーンルーム) において、 静電気帯電や静電気放電による静電気障害が製品不良を引起し、大きな問題になっている。
 本講演では、理解を深めるため、まず静電気の基礎について説明する。次に半導体・液晶製造、医薬品製造、フィルム製造等のクリーンルームにおける静電気障害について説明し、その対策として、イオナイザーについて、イオナイザーの除電原理、イオナイザーの種類と特徴、イオナイザーの具体的な選定方法と使用上の注意点、イオナイザーの除電性能評価方法を説明する。また、イオナイザーをクリーンルームで使用する上での問題点と最新のクリーンルーム用イオナイザーについて述べる。更に、イオナイザーを使用しない接地による静電気対策 (防爆施設における静電気対策) についても平易に詳細に説明する。
 本講演では、聴講者が、静電気の基礎から静電気対策全般までの広範囲な知識 (初心者から中級者までのレベル) を習得できるように、平易に詳細に説明する。また、イオナイザーは、用途によっていろいろなタイプのものが多数市販されている。除電対象に合わせて適切なイオナイザーを選定することは、除電効果を決める重要なポイントである。それ故、本講演では、聴講者が、イオナイザーの適切な選定方法や使用方法を習得できるように配慮して説明する。

  1. はじめに
  2. 静電気の基礎
    1. 動電気と静電気
    2. 物質は電気エネルギーを持つ
    3. 静電気はこうして現れる
      1. 静電気発生
      2. 静電気発生機構
      3. 発生の原因
      4. 静電誘導
      5. 帯電列
  3. 半導体・液晶製造、医薬品製造等のクリーンルームにおける静電気障害
    1. 静電気帯電の実態
    2. 静電気障害
      1. 静電気帯電による静電気障害 浮遊微粒子汚染
      2. 静電気放電による静電気障害 静電破壊
  4. 半導体・液晶製造、医薬品製造等のクリーンルームにおける静電気対策
    1. 静電気対策の方法
      1. 接地により静電荷を散逸させる方法 (防爆施設における静電気対策)
        1. 帯電量、帯電性を評価するための主な物理量
        2. 測定装置及び測定方法
        3. 静電気対策と評価指標 (目安)
        4. 導体の帯電防止
        5. 作業者の帯電防止
        6. 作業床の導電化
        7. 不導体の帯電防止
        8. 防爆施設の各工程における静電気対策
      2. イオナイザーからの空気イオンにより静電荷を中和する方法
    2. イオナイザーの除電原理
    3. イオナイザーの種類と特徴
    4. イオナイザーの選定方法及び使用上の注意点
      1. イオナイザーの選定方法
      2. イオナイザーの使用上の注意点
    5. イオナイザーの除電性能の評価方法
      1. 有効除電電流による性能評価
      2. 帯電プレートモニタによる性能評価
    6. クリーンルーム用イオナイザー
      1. クリーンルームにおけるイオナイザーの問題点
      2. シースエア式低発塵イオナイザー (コロナ放電式)
      3. イオン化気流放出型イオナイザー (軟X線照射式)
        1. 液晶 カセット用イオン化気流放出型イオナイザー
        2. チャンバー型無発塵イオナイザー (イオンカラム)
        3. 静電気対策用層流吹出口 (イオンキューブ)
      4. 静電気対策の実施例
  5. おわりに
    • 質疑応答

講師

  • 鈴木 政典
    株式会社 テクノ菱和 技術開発研究所
    主席研究員

会場

品川区立総合区民会館 きゅりあん

4F 第1グループ活動室

東京都 品川区 東大井5丁目18-1
品川区立総合区民会館 きゅりあんの地図

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 38,000円 (税別) / 41,040円 (税込)
複数名
: 20,000円 (税別) / 21,600円 (税込)

複数名同時受講の割引特典について

  • 2名様以上でお申込みの場合、
    1名あたり 20,000円(税別) / 21,600円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 38,000円(税別) / 41,040円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 43,200円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 64,800円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。
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本セミナーは終了いたしました。
講演順序・プログラムは変更となる場合がございます。予めご了承ください。