技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー

SiC単結晶エピタキシャル基板のパワーデバイス応用とその製造・高品質化技術の課題

SiC単結晶エピタキシャル基板のパワーデバイス応用とその製造・高品質化技術の課題

東京都 開催 会場 開催

概要

本セミナーでは、SiC半導体技術の礎となるSiC単結晶エピタキシャル基板について、その開発の背景、パワーデバイスへの応用、製造・高品質化技術を説明し、将来動向と今後取り組むべき課題について議論いたします。

開催日

  • 2014年5月23日(金) 13時00分 16時30分

受講対象者

  • SiC半導体、GaN半導体、パワーデバイスに関連する技術者
    • 電気・エネルギー関連
    • 電力変換回路
    • 自動車
    • ハイブリッド車
    • 電気自動車
    • 電車
    • PC
    • 家電
    • エレベータ
    • インバーター
    • 無停電電源装置 など

修得知識

  • SiC単結晶エピタキシャル基板の基礎
  • SiC単結晶エピタキシャル基板のパワーデバイスへの応用
  • SiC単結晶エピタキシャル基板の製造・高品質化技術
  • SiC単結晶エピタキシャル基板の将来動向と課題

プログラム

 電気自動車や燃料電池車などモビリティーの電動化が急速に進んでいる。この分野のキーコンポーネントの一つにパワー半導体デバイスがあるが、現状のSiパワーデバイスでは特性の向上に材料的な限界が見え始めており、Siの材料限界を打破する新たな半導体材料としてシリコンカーバイド (SiC) に大きな注目が集まっている。
 本講演では、SiC半導体技術の礎となるSiC単結晶エピタキシャル基板について、その開発の背景、パワーデバイスへの応用、製造・高品質化技術を説明し、将来動向、今後取り組むべき課題について議論する。

  1. SiC単結晶エピタキシャル基板開発の背景
    1. 環境・エネルギー技術としての位置付け
    2. SiC半導体開発がもたらすインパクト
  2. SiC単結晶エピタキシャル基板開発の歴史と経緯
    1. SiC半導体開発の黎明期
    2. SiC単結晶成長とエピタキシャル成長のブレイクスルー
  3. SiC単結晶エピタキシャル基板開発の現状と動向
    1. SiC単結晶エピタキシャル基板の市場
    2. SiC単結晶エピタキシャル基板関連の学会・業界動向
    3. SiC単結晶エピタキシャル基板関連の最近のニュース
  4. SiC単結晶の物性的特徴と各種デバイス応用
    1. SiC単結晶とは
    2. SiC単結晶の物性と特長
    3. SiC単結晶の各種デバイス応用
  5. SiCパワーデバイスの最近の進展
    1. SiCパワーデバイスの特長
    2. SiCパワーデバイス (SBD、MOSFET) の現状
    3. SiCパワーデバイスのシステム応用
  6. SiCエピタキシャル基板製造プロセスの概要
    1. SiC単結晶のバルク結晶成長
      1. SiC単結晶成長の熱力学
      2. 昇華再結晶法
      3. 溶液成長法
      4. 高温CVD法
      5. その他成長法
    2. SiC単結晶の基板加工技術
      1. SiC単結晶の基板加工プロセス
      2. SiC単結晶の切断技術
      3. SiC単結晶基板の研磨技術
    3. SiC単結晶基板上へのSiCエピタキシャル薄膜成長技術
      1. SiCエピタキシャル薄膜成長技術の概要
      2. SiCエピタキシャル薄膜成長装置の動向
  7. SiC単結晶エピタキシャル基板製造の技術課題
    1. SiC単結晶のポリタイプ制御
      1. SiC単結晶のポリタイプ現象
      2. 各種ポリタイプの特性
      3. SiC単結晶成長におけるポリタイプ制御
    2. SiC単結晶エピタキシャル基板中の拡張欠陥
      1. 各種拡張欠陥の分類
      2. 拡張欠陥の評価法
    3. 基板加工の技術課題
      1. 基板加工の技術課題
      2. 基板加工技術の現状
    4. エピタキシャル薄膜成長の技術課題
      1. エピタキシャル薄膜成長の技術課題
      2. エピタキシャル薄膜成長技術の現状
    5. SiC単結晶基板の電気特性制御
      1. 低抵抗率SiC単結晶基板の必要性
      2. 低抵抗率SiC単結晶基板の技術課題と現状
    6. SiC単結晶エピタキシャル基板の高品質化
      1. マイクロパイプ欠陥の低減
      2. 貫通転位の低減
      3. 基底面転位の低減
  8. まとめ
    • 質疑応用・名刺交換

講師

  • 大谷 昇
    関西学院大学 工学部 教授
    教授

会場

品川区立総合区民会館 きゅりあん

5F 第3講習室

東京都 品川区 東大井5丁目18-1
品川区立総合区民会館 きゅりあんの地図

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 38,000円 (税別) / 41,040円 (税込)
複数名
: 20,000円 (税別) / 21,600円 (税込)

複数名同時受講の割引特典について

  • 2名同時申込みで1名分無料
    • 1名あたり定価半額の20,000円(税別) / 21,600円 (税込)
    • 2名様ともS&T会員登録をしていただいた場合に限ります。
    • 同一法人内(グループ会社でも可)による2名同時申込みのみ適用いたします。
    • 3名様以上のお申込みの場合、上記1名あたりの金額で受講できます。
    • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
    • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
      申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。
    • 他の割引は併用できません。
本セミナーは終了いたしました。

これから開催される関連セミナー

開始日時 会場 開催方法
2024/4/5 半導体デバイス・プロセス開発の実際 (2日間) オンライン
2024/4/5 半導体デバイス・プロセス開発の実際 (後編) オンライン
2024/4/5 半導体の洗浄技術の基礎、付着物の有効な除去とクリーン化技術 オンライン
2024/4/9 半導体デバイス製造工程の基礎 オンライン
2024/4/10 半導体パッケージ 入門講座 オンライン
2024/4/10 分散型電源システムの最新動向と事業展開 オンライン
2024/4/11 パワー半導体実装材料の開発と接合部の信頼性評価 オンライン
2024/4/12 今注目のxEVと車載パワーエレクトロニクス、高周波対応基板材料、ポリマー光導波路 (POW) の動向 オンライン
2024/4/15 先端半導体製造におけるシリコンウェーハ表面のクリーン化技術および洗浄・乾燥技術 (2コースセット) 東京都 会場・オンライン
2024/4/15 半導体製造ラインのウェーハ表面洗浄・乾燥および汚染除去技術の基礎から最新動向まで 東京都 会場・オンライン
2024/4/17 エヌビディアGPU祭りと半導体不況本格回復への羅針盤 オンライン
2024/4/18 各種パワーデバイスの特徴・技術動向と今後の課題 オンライン
2024/4/18 半導体製造における半導体洗浄技術の基礎知識および技術トレンド オンライン
2024/4/18 半導体の洗浄技術の基礎、付着物の有効な除去とクリーン化技術 オンライン
2024/4/19 車載半導体の最新技術と今後の動向 オンライン
2024/4/19 半導体製造プロセス 入門講座 オンライン
2024/4/22 フォトレジスト材料の基礎と課題 オンライン
2024/4/23 半導体ドライエッチングの基礎と原子層プロセスの最新動向 オンライン
2024/4/23 半導体パッケージ 入門講座 オンライン
2024/4/23 半導体先端パッケージ技術を理解するための基礎 オンライン

関連する出版物

発行年月
2024/2/26 EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書
2024/2/26 EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2023/9/29 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術
2023/4/28 次世代半導体パッケージの最新動向とその材料、プロセスの開発
2022/11/29 半導体製造プロセスを支える洗浄・クリーン化・汚染制御技術
2022/10/31 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術
2022/6/17 2022年版 電子部品市場・技術の実態と将来展望
2022/6/13 パワー半導体〔2022年版〕 (CD-ROM版)
2022/6/13 パワー半導体〔2022年版〕
2021/12/10 2022年版 スマートデバイス市場の実態と将来展望
2021/11/12 レジスト材料の基礎とプロセス最適化
2021/6/18 2021年版 電子部品・デバイス市場の実態と将来展望
2020/12/11 2021年版 スマートデバイス市場の実態と将来展望
2020/7/17 2020年版 電子部品・デバイス市場の実態と将来展望
2019/7/19 2019年版 電子部品・デバイス市場の実態と将来展望
2018/11/30 EV・HEV向け電子部品、電装品開発とその最新事例
2018/3/20 レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決
2018/1/10 SiC/GaNパワーエレクトロニクス普及のポイント
2016/9/30 電磁波吸収・シールド材料の設計、評価技術と最新ノイズ対策
2015/6/30 導電性フィラー、導電助剤の分散性向上、評価、応用