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酸化チタン薄膜形成プロセスとその高品質化

酸化チタン薄膜形成プロセスとその高品質化

東京都 開催 会場 開催

概要

本セミナーでは、酸化チタンの基礎物性と薄膜形成の原理・方法や、より効率的に酸化チタンの特性を引き出すために必要な薄膜形成要素について、講師の経験を交え、結果ならびに提案を含めて解説いたします。

開催日

  • 2013年9月25日(水) 13時00分16時30分

受講対象者

  • 酸化チタン薄膜形成に関わる研究者

修得知識

  • 酸化チタンの物性
  • 薄膜成長の原理と薄膜成長技術
  • 超親水性コーティング技術
  • 酸化チタンの透明導電膜
  • ヘテロエピタキシー技術

プログラム

 本講演では、酸化チタンの基礎物性と薄膜形成の原理・方法を解説した後、より効率的に酸化チタンの特性を引き出すために必要な薄膜形成要素について、我々がこれまで得てきた結果ならびに提案を含めて述べる。
 また、多形の結晶構造をもつ酸化チタンを利用した高品質ヘテロエピタキシャル成長としてZnOを例に紹介する。

  1. 酸化チタンの基礎物性
    1. 酸化数と構造多形
    2. TiO2の結晶構造とエネルギーバンド
    3. TiO2の光活性特性 (光触媒性、超親水性)
    4. TiO2の導電性
  2. 薄膜形成法
    1. 薄膜形成の原理 (基礎過程:吸着~分解・泳動~脱離、結晶成長の3つのモード)
    2. 物理堆積法、化学堆積法、物理化学堆積法
    3. エピタキシー
  3. TiO2薄膜形成と高品質化
    1. 超親水性薄膜形成
      1. 熱CVDとプラズマCVD
      2. プラズマCVD法による親水性の顕著な改善
      3. 有機材料上への薄膜室温形成
      4. 高い親水性を得るための要素
      5. 超親水性酸化チタン表面の水の性質
    2. 高導電薄膜形成
      1. 薄膜形成に要求されること
      2. 多結晶薄膜での導電機構
      3. 高導電化の試み
  4. 構造多形を利用したバッファー層としての応用 (ZnOを例にして)
    1. ZnOの応用と問題点
    2. Ti2O3のエピタキシャル成長
    3. ZnO/Ti2O3/Al2O3のヘテロエピタキシャル成長
    • 質疑応答・名刺交換

講師

  • 山内 智
    茨城大学 工学部 生体分子機能工学科
    准教授

会場

品川区立総合区民会館 きゅりあん

4F 第1特別講習室

東京都 品川区 東大井5丁目18-1
品川区立総合区民会館 きゅりあんの地図

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 38,000円 (税別) / 39,900円 (税込)
複数名
: 31,000円 (税別) / 32,550円 (税込)

複数名同時受講の割引特典について

  • 2名で参加の場合、1名につき 7,350円割引
  • 3名で参加の場合、1名につき 10,500円割引 (同一法人に限ります)
本セミナーは終了いたしました。

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