透過性,帯電性,接着性,印刷・塗装性,生体適合性など,多くの機能性がプラスチック表面の構造と物性に大きく依存しています。プラスチック表面に機能性を付与するために,様々な方法で表面改質が行われています。なかでもプラズマを用いた表面改質技術は,環境負荷が少ないクリーンなドライプロセスですが,従来は真空を必要とするなどの問題がありました。
　しかし,近年になって大気圧下で低温のプラズマを発生させる技術開発が進み,発生装置の単純化,非処理材に対する大きさや量の制限緩和など,プラズマ処理の常識が変わりつつあります。
　本セミナーでは,低温プラズマの特徴を整理し,さらに大気圧低温プラズマについて,基礎から応用までを解説します。また,選択的化学修飾や有機・無機薄膜のCVDなど,最新の応用技術についても紹介します。

1. 低温プラズマの発生方法とその特長
   1. プラズマとは
   2. 低圧低温プラズマ
      　a.DCグロー放電
      　b.RFグロー放電
   3. 大気圧低温プラズマ
      　a.コロナ放電
      　b.誘電体バリア放電
      　c.大気圧グロー放電
   4. プラズマ発生方法による生成活性種の比較
2. 低温プラズマによる高分子の表面改質・薄膜形成法
   1. 低温プラズマの化学
      　a.表面分析法
      　b.高分子材料表面の化学構造変化
      　c.高分子材料表面におけるグラフト重合
      　d.高分子材料表面への成膜
      　e.デプスプロファイルとダイナミクス
      　f.プラズマ発生方法による相違点
   2. 低温プラズマの効果
      　a.表面クリーニング
      　b.エッチング
      　c.親水化
      　d.疎水化・撥水化
      　e.ガスバリア性付与
      　f.その他高機能化
3. 低温プラズマ技術の新展開
   1. パルスプラズマ
   2. 大気圧低温プラズマジェット
      　a.種々の大気圧低温プラズマジェット発生装置
      　b.各プラズマジェットに含まれる活性種
      　c.プラズマジェットによる単純表面処理
      　d.材料表面への官能基の導入とグラフト重合
      　e.CVDとプラズマ重合
• 質疑応答