技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー

プラズマエッチングにおけるプラズマダメージの発生メカニズムと制御

プラズマエッチングにおけるプラズマダメージの発生メカニズムと制御

~3次元構造における新しいプラズマダメージ機構や最新動向についても解説~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、プラズマエッチングについて基礎から解説いたします。
歩留まり低下やデバイスの信頼性劣化を引き起こすプラズマダメージの制御のために必要な知識を網羅的に解説いたします。

開催日

  • 2021年4月28日(水) 13時00分16時30分

受講対象者

  • プロセス・デバイス開発に関連する業務に従事されている方
  • デバイス信頼性を保証するプラズマプロセスの開発に必要な基礎知識
  • プロセス開発現場で必要とされる工学・統計学に関する基礎知識
  • 企業などでプラズマエッチングに関する研究開発を始めた方
  • プロセス設計に従事されている方
  • デバイス信頼性評価に従事されている方など

修得知識

  • デバイス信頼性を保証するプラズマプロセスの開発に必要な基礎知識
  • プロセス開発現場で必要とされる工学・統計学に関する基礎知識

プログラム

 現在、超微細半導体デバイスをはじめ、さまざまなデバイス製造において、プラズマプロセスは重要な役割を担っている。例えば、プラズマエッチングにおいては、想定外のプラズマとデバイス (固体) との相互作用が、デバイス特性・信頼性へ影響を及ぼす。この現象は、プラズマ誘起ダメージと呼ばれ、製造装置設計、プロセス設計、デバイス設計、回路設計において大きな問題となっている。それら現象の基礎的理解は、研究開発のみならず、生産現場でのプロセス管理においても重要である。しかしながら、一般の専門書だけでは、最先端のプラズマエッチングの実用上の課題であるプラズマ誘起ダメージを把握し、制御することは困難である。
 本講座では、近年重要視されているプラズマエッチングの技術課題として、プラズマ誘起ダメージをとりあげる。近年のデバイスの3次元化に伴う新しいプラズマダメージ形成機構や、デバイス設計に必要なデバイス劣化モデル、材料設計に必要な原子レベルでのプラズマダメージモデル、およびその制御について最新の発表動向を交えて議論する。

  1. プラズマとは
    1. 現代社会におけるプラズマ技術の応用例
    2. プラズマを理解するためのパラメータ
  2. プラズマエッチングとは
    1. 超微細半導体デバイスの歴史 (加工技術を中心に)
    2. 超微細半導体デバイス製造におけるプラズマエッチングの役割
    3. プラズマエッチングの基礎 (反応表面の構造について)
  3. プラズマエッチングにおける技術課題について
    1. 加工形状異常に代表される課題例
    2. 新しい課題~プラズマ誘起ダメージ
  4. プラズマ誘起ダメージについて
    1. 3つのダメージ発生機構
    2. プラズマ誘起ダメージによる歩留まり低下とデバイス信頼性劣化
    3. イオン衝撃によるプラズマ誘起ダメージモデル
    4. デバイス劣化モデル
    5. 3次元構造における新しいプラズマ誘起ダメージ機構
  5. 今後の展望~何がわかっていて、何がわからないのか?
    1. 原子レベルでのプラズマ誘起ダメージの理解に向けて
    2. プラズマ誘起ダメージを制御 (最適化?) する
    3. プラズマ誘起ダメージはどうなるのか?
    • 質疑応答

講師

  • 江利口 浩二
    京都大学 大学院 工学研究科 航空宇宙工学専攻
    ​教授

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 30,400円 (税別) / 33,440円 (税込)
複数名
: 20,000円 (税別) / 22,000円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

これから開催される関連セミナー

開始日時 会場 開催方法
2026/1/20 トライボロジー (摩擦、摩耗、潤滑) の基礎、耐摩耗対策と摩擦制御法 オンライン
2026/1/21 接着制御・メカニズム解析の考え方と分析評価法 オンライン
2026/1/22 めっき技術の基礎ならびに密着性向上・トラブル対策の具体的ポイント オンライン
2026/1/26 常温型フッ素コーティングによる防湿・絶縁・耐酸・撥水・撥油・離型技術とPFAS規制の最新状況 オンライン
2026/1/27 プラズマ技術の基礎とドライエッチングへの応用 東京都 会場・オンライン
2026/1/27 常温型フッ素コーティングによる防湿・絶縁・耐酸・撥水・撥油・離型技術とPFAS規制の最新状況 オンライン
2026/1/27 ALE (アトミック レイヤー エッチング) 技術の基本原理と開発事例および最新動向 オンライン
2026/1/28 フッ素フリー表面処理材料の開発動向とその特性評価 オンライン
2026/1/28 塗料・塗膜の基礎 : 塗装工程の重要ポイント (塗装系) と耐候性技術 東京都 会場・オンライン
2026/1/29 プラズマ技術の基礎とドライエッチングへの応用 オンライン
2026/1/29 めっき膜の密着性改善・剥離対策の考え方と分析・解析手法 オンライン
2026/1/29 ウェットコーティングの単層および重層塗布技術解説と塗布故障の原因と対策 オンライン
2026/1/29 精密塗布における脱気・脱泡技術 東京都 会場
2026/1/30 溶液の塗布・塗工技術および設備・装置の基礎と品質安定化 オンライン
2026/2/2 基材への塗布層の形成、コーティング液の塗布技術 オンライン
2026/2/5 シランカップリング剤の効果的活用のための基礎と機能材料への応用 東京都 オンライン
2026/2/5 防汚コーティングの基礎と評価手法 オンライン
2026/2/6 半導体・電子デバイス製造における真空および薄膜形成・加工技術 オンライン
2026/2/6 シランカップリング剤の基礎と上手な活用法 オンライン
2026/2/9 シランカップリング剤の基礎と上手な活用法 オンライン

関連する出版物

発行年月
2025/5/26 表面プラズモン技術〔2025年版〕技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2025/5/26 表面プラズモン技術〔2025年版〕技術開発実態分析調査報告書 (書籍版)
2025/4/30 非フッ素系撥水・撥油技術の開発動向と性能評価
2025/4/21 塗料技術〔2025年版〕技術開発実態分析調査報告書 (書籍版)
2025/4/21 塗料技術〔2025年版〕技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2025/3/31 エッチングの高度化と3次元構造の作製技術
2024/8/30 塗工液の調製、安定化とコーティング技術
2024/4/1 反射防止フィルム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版)
2024/4/1 反射防止フィルム 技術開発実態分析調査報告書
2023/9/29 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術
2023/8/31 “ぬれ性“の制御と表面処理・改質技術
2023/5/31 塗布・乾燥のトラブル対策
2022/10/31 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術
2022/5/20 コーティング技術の基礎と実践的トラブル対応
2021/3/26 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻)
2021/3/26 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) (製本版 + ebook版)
2021/3/8 プラズマ技術 (CD-ROM版)
2021/3/8 プラズマ技術
2019/12/20 高分子の表面処理・改質と接着性向上
2018/9/27 プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例