技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、プラズマエッチングについて基礎から解説いたします。
歩留まり低下やデバイスの信頼性劣化を引き起こすプラズマダメージの制御のために必要な知識を網羅的に解説いたします。
現在、超微細半導体デバイスをはじめ、さまざまなデバイス製造において、プラズマプロセスは重要な役割を担っている。例えば、プラズマエッチングにおいては、想定外のプラズマとデバイス (固体) との相互作用が、デバイス特性・信頼性へ影響を及ぼす。この現象は、プラズマ誘起ダメージと呼ばれ、製造装置設計、プロセス設計、デバイス設計、回路設計において大きな問題となっている。それら現象の基礎的理解は、研究開発のみならず、生産現場でのプロセス管理においても重要である。しかしながら、一般の専門書だけでは、最先端のプラズマエッチングの実用上の課題であるプラズマ誘起ダメージを把握し、制御することは困難である。
本講座では、近年重要視されているプラズマエッチングの技術課題として、プラズマ誘起ダメージをとりあげる。近年のデバイスの3次元化に伴う新しいプラズマダメージ形成機構や、デバイス設計に必要なデバイス劣化モデル、材料設計に必要な原子レベルでのプラズマダメージモデル、およびその制御について最新の発表動向を交えて議論する。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2026/6/19 | めっきの基礎および不良要因とその対策 | オンライン | |
| 2026/6/22 | 塗装劣化のメカニズムと不良対策・評価解析技術 | オンライン | |
| 2026/6/22 | シランカップリング剤のメカニズムと使用方法 | オンライン | |
| 2026/6/24 | PFAS規制関連の最新動向と対応する代替材料の動向 | オンライン | |
| 2026/6/25 | 溶射技術の基礎とその応用 | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2026/6/25 | ダイコーティングの基礎理論とトラブル対策 | オンライン | |
| 2026/6/26 | 無機ナノ粒子の総合知識 | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2026/6/26 | 欧州PFAS規制の動向と対応策、想定される代替手段 | オンライン | |
| 2026/6/29 | 薄膜測定・評価技術のポイント | オンライン | |
| 2026/6/29 | 基礎から学ぶフィラー活用術とサステナブル社会を支える複合材料への展開 | オンライン | |
| 2026/6/30 | シランカップリング剤の反応メカニズム解析、界面 (層) 形成・表面の反応状態の分析・評価方法 | オンライン | |
| 2026/7/2 | トライボロジー (摩擦、摩耗、潤滑) の基礎と材料・表面技術を活用した耐摩耗対策・摩擦制御技術 | 会場・オンライン | |
| 2026/7/2 | シランカップリング剤の効果的活用法 | オンライン | |
| 2026/7/3 | スラリーの特性評価とプロセス制御への活用 | オンライン | |
| 2026/7/3 | 分子間力や表面張力の考え方と SP値・接触角・界面自由エネルギーなどの測定および制御 | オンライン | |
| 2026/7/3 | 半導体ドライエッチングの基礎とプロセス制御技術 | オンライン | |
| 2026/7/7 | 熱力学・電気化学・金属材料学とめっき膜観察・分析方法 | オンライン | |
| 2026/7/8 | 接着制御・メカニズム解析の考え方と分析評価法 | オンライン | |
| 2026/7/8 | 熱力学・電気化学・金属材料学とめっき膜観察・分析方法 | オンライン | |
| 2026/7/8 | 高分子接着の基礎と接着性制御に向けた界面構造・残留応力の評価および表面処理 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2025/5/26 | 表面プラズモン技術〔2025年版〕技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2025/5/26 | 表面プラズモン技術〔2025年版〕技術開発実態分析調査報告書 (書籍版) |
| 2025/4/30 | 非フッ素系撥水・撥油技術の開発動向と性能評価 |
| 2025/4/21 | 塗料技術〔2025年版〕技術開発実態分析調査報告書 (書籍版) |
| 2025/4/21 | 塗料技術〔2025年版〕技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2025/3/31 | エッチングの高度化と3次元構造の作製技術 |
| 2024/8/30 | 塗工液の調製、安定化とコーティング技術 |
| 2024/4/1 | 反射防止フィルム 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2024/4/1 | 反射防止フィルム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2023/9/29 | 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 |
| 2023/8/31 | “ぬれ性“の制御と表面処理・改質技術 |
| 2023/5/31 | 塗布・乾燥のトラブル対策 |
| 2022/10/31 | 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術 |
| 2022/5/20 | コーティング技術の基礎と実践的トラブル対応 |
| 2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) |
| 2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) (製本版 + ebook版) |
| 2021/3/8 | プラズマ技術 (CD-ROM版) |
| 2021/3/8 | プラズマ技術 |
| 2019/12/20 | 高分子の表面処理・改質と接着性向上 |
| 2018/9/27 | プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 |