技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、レジスト材料、レジストプロセスについて基礎から解説し、レジストに関わるトラブルの原因、発生メカニズムとその対策・未然防止策について詳解いたします。
現在、レジスト材料は、半導体、ディスプレイ、プリント基板、太陽電池、MEMS等の多くの電子産業分野において、世界市場で実用化されています。その市場規模は、年間1500億円におよび年々拡大しています。その反面、レジスト材料プロセス技術の高度化に伴い、フォトレジストの品質が製品に与える影響も深刻化しています。また、レジストユーザーの要求も幅広くなり、レジスト材料および装置メーカー側は対応に追われる状況です。
本セミナーでは、これからレジスト材料を使用するユーザー、レジスト材料開発、処理装置開発、リソグラフィでトラブルを抱えている方々を対象に、フォトレジスト材料の特性、プロセスの最適化、付着・濡れ・欠陥といった各種トラブルに注目し、評価・解決のアプローチを丁寧に説明します。また、研究開発・トラブルフォローといった実務上での取り組み方について、豊富な実例とノウハウを交えながら解説します。初心者にも分かりやすく、基礎から学べる内容となっています。さらに、最近の傾向として、レジスト材料メーカーおよび装置メーカーにおいても、デバイス作製のノウハウと知識が求められてきています。
そこで、レジストユーザーの視点とは何かを講師の経験も含めて詳述します。受講者が抱えている日々のトラブルやノウハウ相談にも個別に応じます。
学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院の教員、学生に限ります。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2025/6/11 | 光デバイス向けMEMS加工技術の解説と応用事例 | オンライン | |
| 2025/6/12 | 乾燥操作の基礎と乾燥機の性能評価・設計およびトラブル対策 | オンライン | |
| 2025/6/12 | フッ素フリー撥水・撥油技術の開発動向とその評価 | オンライン | |
| 2025/6/13 | 乾燥操作の基礎と乾燥機の性能評価・設計およびトラブル対策 | オンライン | |
| 2025/6/13 | 溶融製膜/溶液製膜によるフィルム成形技術の基礎と実際 | オンライン | |
| 2025/6/17 | 無機ナノ粒子の粒子径、形状制御と表面処理、分散性向上 | オンライン | |
| 2025/6/19 | リチウムイオン電池のドライプロセスにおける材料と製造技術 | オンライン | |
| 2025/6/19 | プラズマCVD (化学気相堆積) 装置による高品質薄膜の成膜技術、および量産化対応 | オンライン | |
| 2025/6/20 | 塗布膜乾燥の基本とプロセス・現象・本質の理解、最適化と欠陥・トラブル対策 | オンライン | |
| 2025/6/23 | 塗料・塗膜の基礎 (含:塗装系) 、塗膜の欠陥不良 (発生メカニズムと対策) | 東京都 | 会場 |
| 2025/6/24 | シランカップリング剤のメカニズムと使用方法 | オンライン | |
| 2025/6/25 | 接着制御・メカニズム解析の考え方と分析評価法 | オンライン | |
| 2025/6/25 | シランカップリング剤の反応メカニズム解析、界面 (層) 形成・表面の反応状態の分析・評価方法 | オンライン | |
| 2025/6/27 | めっきの基礎および不良要因とその対策 | オンライン | |
| 2025/6/30 | ぬれ性の基礎と滑水性の評価・制御 | オンライン | |
| 2025/6/30 | 溶融製膜/溶液製膜によるフィルム成形技術の基礎と実際 | オンライン | |
| 2025/7/1 | 高分子・中分子医薬品における凍結乾燥技術と条件設定とバリデーションの具体的ポイント | 会場・オンライン | |
| 2025/7/3 | シランカップリング剤の効果的活用法 | オンライン | |
| 2025/7/3 | リチウムイオン電池の間欠塗工技術とスラリー分散・混錬・調送液の製造技術 | オンライン | |
| 2025/7/4 | ナノインプリントの材料、プロセスの設計とVR/AR、半導体プロセスへの応用技術 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2025/4/30 | 非フッ素系撥水・撥油技術の開発動向と性能評価 |
| 2025/2/28 | マイクロ波の工業応用 事例集 |
| 2024/8/30 | 塗工液の調製、安定化とコーティング技術 |
| 2024/4/1 | 反射防止フィルム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2024/4/1 | 反射防止フィルム 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2024/2/26 | EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2024/2/26 | EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2023/11/30 | 造粒プロセスの最適化と設計・操作事例集 |
| 2023/9/29 | 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 |
| 2023/8/31 | “ぬれ性“の制御と表面処理・改質技術 |
| 2023/5/31 | 塗布・乾燥のトラブル対策 |
| 2022/5/31 | 分離工学の各単位操作における理論と計算・装置設計法 |
| 2022/5/20 | コーティング技術の基礎と実践的トラブル対応 |
| 2021/11/12 | レジスト材料の基礎とプロセス最適化 |
| 2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) |
| 2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) (製本版 ＋ ebook版) |
| 2020/5/29 | 凍結乾燥工程のバリデーションとスケールアップおよびトラブル対策事例 |
| 2019/12/20 | 高分子の表面処理・改質と接着性向上 |
| 2018/12/27 | 押出成形の条件設定とトラブル対策 |
| 2018/8/31 | 防汚・防水・防曇性向上のための材料とコーティング、評価・応用 |