塗布膜の乾燥機構の解明は、様々な工学等の分野で求められている重要な課題である。塗布膜の乾燥においては 、例えば乾燥後の膜厚分布が均一になることが求められるが、多くの場合、膜厚分布が均一にならず、また乾燥条件によって膜厚分布が変化することが経験的に知られてきた。
　均一な乾燥後の膜厚分布を得るためには、塗布膜の乾燥過程の機構を解明することがまず必要で、その解明を経て、必要な制御を系に施すことにより、均一な乾燥後の膜厚分布を得るという目標へ近づくことになる。均質な膜分布を得る場合も同様である。 また、乾燥後の様々な欠陥を克服する際にも、同様のプロセスが必要となる。
　本講演では、塗布膜の乾燥工程の機構を解明するにあたり必要となる物理学的知識、考え方の解説から始めて、それらを基にした上記工程のモデル化の実際、およびその数値シミュレーションの実際を概説するとともに、これに基づいて様々な塗布膜不具合の原因を物理学的に考察する。そして、膜乾燥における様々な欠陥、問題の克服と、膜厚分布の制御の方法について考察する。

1. 塗布膜の乾燥工程の概要と課題
2. 液体の理論
3. 溶液の理論
4. 表面・界面の理論
5. 溶媒の蒸発速度の理論
6. 溶液中の溶質・溶媒の動力学
7. 平坦な基板上に塗布された高分子溶液の揮発過程
   1. 数理モデル化
   2. 数値シミュレーション結果の例
8. シミュレーション技術
9. 実験によるモデルの検証
10. モデルの発展
11. 膜厚制御の実際、今後
• 質疑応答