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ガス中の微量水分・不純物分析

ガス中の微量水分・不純物分析

オンライン 開催

概要

本セミナーでは、ガスの分析について基礎から解説し、測定条件の最適化、操作上の注意点、測定結果の解析・評価までを解説いたします。

開催日

  • 2024年12月4日(水) 12時30分 16時30分

修得知識

  • 微量水分分析の基礎
  • 微量水分分析の注意点
  • 信頼性の高い微量水分分析法
  • ガス中の金属不純物分析と汚染管理
  • ガス中の金属汚染分析方法

プログラム

第1部 高純度ガス中の微量水分分析

(2024年12月4日 12:30〜14:30)

 高純度ガス中の残留水分の微量分析は他成分の微量分析に比べて困難です。なぜ難しいのか、どのようにすれば信頼性の高い分析結果が得られるのかについて、できるだけ分かりやすく解説します

  1. 微量水分の基礎
    1. 微量水分とは
    2. 微量水分分析の必要性
    3. 微量水分分析の難しさ
    4. 微量水分分析の問題点
  2. 微量水分の分析器
    1. 鏡面冷却式露点計
    2. 静電容量式センサー
    3. 五酸化リン式水分計
    4. 水晶発振式水分計
    5. APIMS
    6. TDLAS
    7. CRDS
    8. 検量線の要否
  3. 微量水分の計測標準
    1. 計測標準とは
    2. 測定の不確かさ
    3. 微量水分標準
  4. 計測結果の信頼性
    1. 各種分析器の性能評価例
    2. 信頼性の高い微量水分分析のために
    • 質疑応答

第2部 ガス中の金属不純物分析と汚染管理

(2024年12月4日 14:45〜16:30)

  1. ガスの用途および金属不純物汚染
    1. ガスの種類および用途
    2. 金属不純物の汚染形態および汚染源
  2. ガス中の金属汚染分析方法
    1. 溶液捕集法
    2. フィルター捕集法
    3. ダミーウェーハ法
      1. 全反射蛍光X線 (TRXRF) 分析法
      2. 気相分解 (VPD) – TRXRF法
      3. 気相分解 (VPD) – ICP – MS法
      4. レーザーアブレーション (LA) – GEDMSAGICP – MS法
    4. 直接分析法
      1. ガス交換器 (GED) – ICP – MS法
      2. 直接ICP – MS導入法
    • 質疑応答

講師

  • 阿部 恒
    国立研究開発法人 産業技術総合研究所 物質計測標準研究部門 ガス・湿度標準研究グループ
    上級主任研究員
  • 川端 克彦
    株式会社イアス
    代表取締役

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 55,000円 (税別) / 60,500円 (税込)
複数名
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 50,000円(税別) / 55,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 55,000円(税別) / 60,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
    印刷物は後日お手元に届くことになります。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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