技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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アーカイブ配信で受講をご希望の場合、視聴期間は2024年9月13日〜30日を予定しております。
アーカイブ配信のお申し込みは2024年9月13日まで承ります。
本セミナーでは、高分子・低分子化合物のレジスト材料に関する基礎や評価方法を解説いたします。
フォトレジスト材料の開発は、G線、i線、KrFおよびArFエキシマーレーザーと、露光システムの変遷により、そのレジスト材料の骨格を変化させ、露光システムに対応したレジスト材料が開発されてきた。現在、極端紫外線 (EUV) 露光システムが実用段階として運用されようとしている。しかしながら、EUV露光システムの能力を十分に引き出せるレジスト材料が開発されていない。
本テーマでは、これまで開発されてきたレジスト材料の基本的な構造を紹介しながら、レジスト材料の合成方法について、基本的な合成方法から最新の合成例について解説する。さらに、分子レジストや化学増幅型レジストの原理や合成方法について解説し、EUV用レジスト材料の研究開発例を紹介し、それらの問題点、および今後の分子設計方法について解説する。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
ライブ配信またはアーカイブ配信セミナーのいずれかをご選択いただけます。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2024/9/18 | プラスチックリサイクルの技術・事業開発の最新動向と今後の展望 | オンライン | |
2024/9/19 | ポリイミドの構造、物性、高機能化、低誘電化、5G / 6G / 次世代半導体 / Co-Packaged Optics周辺などへの応用と可能性 | オンライン | |
2024/9/20 | プラスチック破壊メカニズムの基礎と材料強度設計 | オンライン | |
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2024/9/20 | PPS樹脂の基本特性と高機能化、応用技術 | オンライン | |
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2024/9/26 | フィラーの分散・充填技術およびナノコンポジットの研究開発動向 | オンライン | |
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2024/9/26 | 高分子の延伸における分子配向・配向結晶化のメカニズムと物性制御 | オンライン | |
2024/9/26 | ポリマー・高分子材料用の各種添加剤の種類、作用機構と選択・処方・配合設計の基礎 | オンライン |
発行年月 | |
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2009/1/16 | 世界のエンジニアリング樹脂 |
2008/4/24 | ポリイミドの高機能化と応用技術 |
2007/7/13 | 樹脂の硬化度・硬化挙動の測定と評価方法 |
2004/9/1 | ポリエステル樹脂総合分析 |
2002/3/1 | 新しい機能性モノマーの市場展望 |