技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、ドライエッチングについて基礎から解説し、最先端ドライエッチング技術として、マルチパターニング、FinFETやGAAなどのロジックFEOLエッチング、1.4nm以降のロジック配線エッチング、さらには超低温 (クライオ) エッチングを含む、3D NANDのHARエッチングについて具体的なプロセスフローを用いて詳細に解説いたします。
半導体デバイスの微細化・高集積化が進むにつれ、ドライエッチングに課せられる要求はますます厳しくなってきています。ロジックデバイスでは3nmノードからGAA (Gate ALL Around) 構造が採用され、また1.4nmノード以降の配線は、これまでのCuダマシンから、Ruなどの金属材料をエッチングして形成する方式に変わると予想されています。フラッシュメモリは3次元化され、既に200層以上の3D NANDが量産されています。また、10nmノード以降のデバイスでは原子レベルで表面反応を制御するアトミックレイヤーエッチング (ALE) が必要となってきています。半導体のスマートファクトリでは、装置自身が自己診断してメインテナンス時期を知ったり、プロセス条件のずれを修正するような、いわゆるインテリジェントツールが求められています。本セミナーでは、ドライエッチングの最新技術動向、ALEおよびインテリジエントツールについて分かりやすく解説します。
セミナーでは、最初に本講座を理解する上で必要とされるドライエッチングの基礎について解説します。次に最先端ドライエッチング技術として、マルチパターニング、FinFETやGAAなどのロジックFEOLエッチング、1.4nm以降のロジック配線エッチング、さらには3D NANDのHARエッチングについて具体的なプロセスフローを用いて詳細に解説します。3D NANDのHARエッチングでは、最近話題になっている超低温 (クライオ) エッチングについても解説します。ALEに関しては最初に原理と特徴について解説し、次にALEで実際にその特徴が実現できることを示します。さらには10nmロジックデバイスから量産適用が始まったSiO2のALEや、GAAや3D NANDのような3次元構造デバイスで必要とされる等方性ALEについて詳細に解説します。インテリジェントツールに関しては、チャンバーモニタリング、セルフメインテナンス、フィードフォワード/フィードバック制御やバーチャルメトロロジー (VM) を中心に解説します。
本セミナーは、長年半導体の製造現場に近い所で仕事をしていた講師の体験に基づいておりますので、実践的で密度の濃い内容になっており、ドライエッチングのプロを目指す方に最適な講座となっています。また、半導体装置メーカー、コンポーネントメーカー、材料メーカーのエンジニアの方々がドライエッチングの最新技術動向を理解し、また自分たちの技術が先端デバイスの中でどのように使われているのかを理解するのにも役立つセミナーです。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2024/12/3 | 材料表面への (超) 撥水性・ (超) 親水性の付与技術と制御および分析・評価、応用技術 | オンライン | |
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2024/12/5 | 分子間力や表面張力の考え方、そのコントロールと測定法 | オンライン | |
2024/12/5 | 乳化重合・ソープフリー乳化重合によるポリマー微粒子の合成と粒子径・形状制御 | オンライン | |
2024/12/6 | ゾル-ゲル法の基礎と機能性材料作製への応用および新展開 | オンライン | |
2024/12/6 | フッ素フリー撥水材の開発と応用 | オンライン | |
2024/12/9 | めっき法の基礎および堆積形状・膜物性の添加剤による制御とその低減策 | オンライン | |
2024/12/9 | ハードコート剤の開発、材料設計、調製、特性評価、高機能化、応用展開 | オンライン | |
2024/12/10 | 半導体基板へのめっき処理と密着性の向上、評価 | オンライン |
発行年月 | |
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2024/8/30 | 塗工液の調製、安定化とコーティング技術 |
2024/4/1 | 反射防止フィルム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
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2023/9/29 | 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 |
2023/8/31 | “ぬれ性“の制御と表面処理・改質技術 |
2023/5/31 | 塗布・乾燥のトラブル対策 |
2022/10/31 | 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術 |
2022/5/20 | コーティング技術の基礎と実践的トラブル対応 |
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2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) |
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2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
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