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野尻 一男

所属

ナノテクリサーチ

役職

代表

経歴

  • 1975年 株式会社 日立製作所入社
    半導体事業部にてCVD、デバイスインテグレーション、ドライエッチングの研究開発に従事。特にECRプラズマエッチング、チャージアップダメージに関して先駆的な研究を行った。
    また技術開発のリーダーとして数々のマネージメントを歴任。
  • 2000年ラムリサーチ 株式会社 入社、取締役・CTOに就任
  • 2017年ラムリサーチ 株式会社 エグゼクティブ・フェロー
  • 2019年 独立。ナノテクリサーチ 代表として技術及び経営のコンサルティングを行っている。

受賞

  • 1989年 大河内記念賞 「有磁場マイクロ波プラズマエッチング技術の開発と実用化」
  • 1994年 機械振興協会賞通産大臣賞 「低温ドライエッチング装置の開発」
  • 2019年 DPS Nishizawa Award
  • 2021年 SSDM Award「チャージアップダメージの先駆的研究」