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大気圧プラズマの基礎及び最適な装置選定指南とその応用

大気圧プラズマの基礎及び最適な装置選定指南とその応用

~ワークに対応した最適な処理形態を考察する~
オンライン 開催

開催日

  • 2021年11月17日(水) 13時00分 16時30分

受講対象者

  • 大気圧プラズマに関連する技術者・研究者
    • 異種材接着接合
    • 分子吸着
    • 精密洗浄
    • 微細パターニング (フォトリソグラフィー)
    • 5G/6G向けFCCL関連
    • 光学フィルム/レンズ製造
    • 表示デバイス
    • 半導体関連 (前工程・後工程)
    • 粉体
    • ナノ粒子
    • 無電解メッキ
    • 多層プリント基板
    • 機能性繊維 等

修得知識

  • 大気圧プラズマを利用した処理目的の違い
  • 最適な処理方法の選定
  • 大気圧プラズマ処理とコロナ処理との違い
  • 大気圧プラズマ装置形態による違い
  • 大気圧プラズマ装置で行える処理

プログラム

 液晶関連市場等での1200台の販売実績から、TFTトランジスタ形成ARRAY工程、高精細カラーフィルター工程、Cell工程、タッチパネル工程での採用実績から得た知見の紹介と、当該大気圧プラズマ装置の基礎内容と装置構成及びその応用、プラズマ装置の処理形態の説明とそれらの特徴、ワークに対応した最適な処理形態を考察いたします。また、クリーンでダメージレスを目的とした処理方法を紹介いたします。

  1. 幅広ワークへの表面改質手段
  2. 容量結合型プラズマ電極内部の挙動 (イメージ)
  3. コロナ方式の特徴
  4. 光 (UV・エキシマ) 方式の特徴
  5. 湿式方式の特徴
  6. ダウンストリーム型プラズマ装置の特徴
  7. プラナー型プラズマ装置の特徴
  8. スポット型プラズマ装置の特徴
  9. 誘電体バリア放電発光スペクトル測定
  10. 電極構造の違いによる発光強度比較
  11. 接触角測定
  12. 印可電力・発光強度・接触角の関係
  13. 接触角の経時変化
  14. 基板処理温度
  15. XPS測定DATA (一例)
  16. 導・電磁波・ESD測定
  17. 絶縁破壊評価
  18. 除電効果
  19. 装置基本構成
  20. 液晶・タッチパネル市場での用途
  21. プラズマ精密乾燥
  22. 現像後のパッド表面等のスカム対策
  23. 長尺ワーク (繊維束等) への処理例
  24. 粉体への表面改質装置
  25. 水素還元及びアミン基処理
  26. 滅菌殺菌
  27. 接着剤レス接着 (一例)
  28. まとめ (いまさら聞けないプラズマ装置の選び方)

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります)

案内割引・複数名同時申込割引について

R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。

「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 42,000円(税別) / 46,200円(税込) で受講いただけます。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。

  • R&D支援センターからの案内を希望する方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,000円(税別) / 46,200円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • R&D支援センターからの案内を希望しない方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
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  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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