技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、量産期を迎えるナノインプリント技術について、樹脂材料との相性、基板密着性、剥離性など、光ナノインプリント用樹脂の開発現状から課題解決について解説いたします。
~光ナノインプリントと熱ナノインプリントの比較から~
(2012年6月21日 13:00~14:00)
ナノインプリント技術は1995年の報告に始まり,研究段階から量産段階へシフトしつつある。
本講演では,ナノインプリントの量産時期を迎えるに当たり,離型制御や評価方法,樹脂流動の限界などを解説する。
(2012年6月21日 14:15~16:15)
インプリント技術は、EB加工によるナノオーダーの超微細パターンから機械加工による大きなパターンまで幅広い解像度に対応可能であり、安価にパターンを製造できる手法である。特に、ナノインプリントでは、フォトリソ法をしのぐ解像度のパターン加工が可能である。
このインプリント技術に対応する樹脂開発を進めており、開発段階で得た性能向上のヒントを含め光ナノインプリント樹脂の紹介を行う。
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