技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
最新プラズマエッチング技術
最新プラズマエッチング技術
～基礎から装置構造、ダメージ、MEMSエッチングまで～
東京都 開催
会場 開催
本セミナーは終了いたしました。
概要
本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最新技術まで網羅的に解説いたします。
情報が得にくい装置やダメージについても詳解いたします。
開催日
- 2012年3月19日(月) 11時00分 ～ 16時30分
受講対象者
- プラズマエッチングに関連する技術者、製造技術担当者、品質担当者
- MEMS
- 微細回路 など
修得知識
- エッチングの基礎
- エッチングガスの物性
- エッチングダメージの基礎
- MEMSのエッチングの課題
- エッチング装置の構造
- エッチングの最新技術動向
プログラム
- エッチングの基本的概念
- イオン
- ラジカル
- 堆積性化合物の生成
- 電子温度・密度
- 中性分子の密度
- 気相反応
- 表面反応
- 形状制御
- 選択比
- エッチングガスの物性
- ハロゲン化合物の一般的物性 (特に融点、沸点について)
- ハロゲン化合物の電子物性とプラズマ中における解離
- ケミカルドライエッチング
- SiO2のケミカルドライエッチング
- Siのケミカルドライエッチング
- RIEについて
- 並行平板型エッチング装置の種類と特徴
- ICP型エッチング装置の種類と特徴
- イオンエネルギー分布と酸化膜エッチング
- SiとF原子の反応と反応速度定数
- 選択比と形状制御
- 添加ガスの役割
- O2添加効果
- N2添加効果
- 希ガスの添加効果
- エッチングダメージについて
- イオンダメージ
- チャージングダメージ
- レジストの荒れ
- MEMSのエッチングと課題
- Si高速エッチングの課題
- 酸化膜高速エッチングの課題
- 不揮発性物質のエッチング
- 新しいエッチングガスの創製
- 官能基の配置とイオン、ラジカルの発生との相関
- まとめ
- 質疑応答・名刺交換・個別相談
会場
主催
お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。
受講料
1名様
:
47,600円 (税別) / 49,980円 (税込)
割引特典について
- R&D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。
- 1名でお申込みいただいた場合、1名につき47,250円 (税込)
- 2名同時にお申し込みいただいた場合、2人目は無料 (2名で49,980円)
- 案内登録をされない方は、1名につき49,980円 (税込)
本セミナーは終了いたしました。
これから開催される関連セミナー
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2026/2/9 | 防汚コーティングの基礎と評価手法 | オンライン | |
| 2026/2/10 | 高分子における「ぬれのダイナミクス」の基礎とその評価・応用技術 | オンライン | |
| 2026/2/10 | 塗布膜乾燥プロセスのメカニズムと均一化・制御法 | オンライン | |
| 2026/2/10 | 接着制御・メカニズム解析の考え方と分析評価法 | オンライン | |
| 2026/2/12 | 大気圧プラズマによる表面改質技術の基礎と応用 | オンライン | |
| 2026/2/13 | 塗布膜乾燥プロセスのメカニズムと均一化・制御法 | オンライン | |
| 2026/2/13 | 半導体製造プロセスにおけるドライエッチングの基礎・最新技術動向 | オンライン | |
| 2026/2/16 | 鉄鋼材料の熱処理および表面処理 | オンライン | |
| 2026/2/16 | 半導体製造プロセスにおけるドライエッチングの基礎・最新技術動向 | オンライン | |
| 2026/2/16 | 大気圧プラズマによる表面改質技術の基礎と応用 | オンライン | |
| 2026/2/16 | コーティングプロセスにおける界面化学とレオロジー解析 | オンライン | |
| 2026/2/17 | コーティングプロセスにおける界面化学とレオロジー解析 | オンライン | |
| 2026/2/17 | 半導体/実装基板のめっき・表面処理技術 | オンライン | |
| 2026/2/18 | 半導体/実装基板のめっき・表面処理技術 | オンライン | |
| 2026/2/18 | 化粧品用粉体の基礎特性と表面処理・規制対応・安全性の向上 | オンライン | |
| 2026/2/19 | 高分子における「ぬれのダイナミクス」の基礎とその評価・応用技術 | オンライン | |
| 2026/2/19 | 塗装劣化のメカニズムと不良対策・評価解析技術 | オンライン | |
| 2026/2/20 | 材料表面への撥水/撥油性付与とぬれ性評価 | オンライン | |
| 2026/2/20 | 自己組織化単分子膜の種類、特徴と表面へのパターニング、分析・評価 | オンライン | |
| 2026/2/24 | フィルムラミネート加工技術の基礎と実際 | オンライン |
関連する出版物
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2025/5/26 | 表面プラズモン技術〔2025年版〕技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2025/5/26 | 表面プラズモン技術〔2025年版〕技術開発実態分析調査報告書 (書籍版) |
| 2025/4/30 | 非フッ素系撥水・撥油技術の開発動向と性能評価 |
| 2025/4/21 | 塗料技術〔2025年版〕技術開発実態分析調査報告書 (書籍版) |
| 2025/4/21 | 塗料技術〔2025年版〕技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2025/3/31 | エッチングの高度化と3次元構造の作製技術 |
| 2024/8/30 | 塗工液の調製、安定化とコーティング技術 |
| 2024/4/1 | 反射防止フィルム 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2024/4/1 | 反射防止フィルム 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2023/9/29 | 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 |
| 2023/8/31 | “ぬれ性“の制御と表面処理・改質技術 |
| 2023/5/31 | 塗布・乾燥のトラブル対策 |
| 2022/10/31 | 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術 |
| 2022/5/20 | コーティング技術の基礎と実践的トラブル対応 |
| 2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) |
| 2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) (製本版 ＋ ebook版) |
| 2021/3/8 | プラズマ技術 (CD-ROM版) |
| 2021/3/8 | プラズマ技術 |
| 2020/7/31 | 生体情報センシングと人の状態推定への応用 |
| 2020/4/30 | 生体情報計測による感情の可視化技術 |