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ガラスインターポーザー・TGV用ガラス基板の特性とVia加工技術

ガラスインターポーザー・TGV用ガラス基板の特性とVia加工技術

オンライン 開催

概要

本セミナーでは、高密度実装やチップレット化の進展に伴い注目されるガラスインターポーザー/TGV技術について取り上げ、ガラス基板に求められる特性と成形性、さらにエッチング・レーザによるVia加工技術と信頼性評価を体系的に解説いたします。

開催日

  • 2026年2月25日(水) 13時30分16時00分

修得知識

  • ガラスインターポーザー・TGV用ガラスの電気・物理
  • ガラスインターポーザー・TGV用ガラスの開発トレンド
  • ガラスの穴あけ (Via加工) 技術
  • ガラスの機械的強度

プログラム

 本講演では、ガラスインターポーザー・TGV用ガラス基板に求められる特性としての基板反りとガラスの電気特性及びガラスの成形性を解説する。Via加工技術に関して、エッチングとレーザ並びにエッチングとレーザを組み合わせた技術を紹介する。Via加工時に発生する欠陥と欠陥がもたらす評価・検査に対する課題にも触れる。
 更に提案されているガラスの電気・物理特性に対して総括した後、ガラス基板への半導体パッケージトレンドからの影響と現在検討されているガラスセラミックスや極薄ガラスの積層化について紹介する。最後に半導体用パッケージガラスの課題を示す。

  1. ガラスインターポーザー・TGV用ガラス基板に求められる特性と形状
    1. ガラスコア基板とガラスインターポーザー
    2. ガラスインターポーザー・TGV用基板の反りに影響する特性
    3. 電気特性としての比誘電率と誘電正接
    4. ガラスの成形性
  2. Via加工技術
    1. エッチング (ウエットとドライ) による穴あけ
    2. レーザによる穴あけ
    3. レーザとエッチングの組み合わせた穴あけ
  3. 半導体パッケージ用ガラスの機械的信頼性
    1. Via加工時のダメージ
    2. ガラスインターポーザー・TGVの評価と検査方法の課題
  4. ガラスインターポーザー・TGV用ガラスの候補
    1. 電気特性と物理特性のまとめ
    2. フラットパネルディスプレイ用ガラスとの特性比較
    3. ガラス組成と電気・物理特性との関係
  5. 今後のガラスインターポーザー・TGV用ガラス
    1. 半導体チップ (チップレットを含めた) からの影響
    2. ガラスセラミックスの可能性
    3. 極薄ガラスの積層化の提案
  6. 半導体パッケージガラスの課題
    • 質疑応答

講師

  • 伊藤 丈二
    イトウデバイスコンサルティング
    代表

主催

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お問い合わせ

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受講料

1名様
: 40,000円 (税別) / 44,000円 (税込)
複数名
: 20,000円 (税別) / 22,000円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります)

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    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 80,000円(税別) / 88,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 120,000円(税別) / 132,000円(税込)

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