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光干渉法による微細三次元表面形状・膜厚分布測定の最新技術と測定ノウハウ

光干渉法による微細三次元表面形状・膜厚分布測定の最新技術と測定ノウハウ

オンライン 開催

開催日

  • 2021年8月30日(月) 10時30分 16時30分
  • 2021年9月6日(月) 10時30分 16時30分

プログラム

  1. 微細3次元表面形状計測入門
    1. 各種測定法の概要
      1. 触針式
      2. 光触針式
      3. SPM (AFM)
      4. 光切断式
      5. 共焦点顕微鏡
      6. 光干渉式
    2. 各種測定法の性能比較
  2. 光干渉式表面形状測定法
    1. 各種干渉光学系
    2. 垂直走査法 (白色干渉法) の原理と測定例
    3. 位相シフト法の原理と測定例
    4. 応用機器
  3. 光干渉式表面形状測定装置の使い方とノウハウ
    1. 段差と急斜面
    2. 狭視野と広視野
    3. 超高精度 (サブナノメートル精度)
    4. 高速測定
    5. 透明膜に覆われた表面形状
    6. 校正法
    7. 装置組み込み
  4. 光干渉式表面形状測定装置による透明膜の測定
    1. 各種膜厚測定技術
    2. 光干渉法による表面・裏面・膜厚同時測定の原理
    3. 透明厚膜の測定法
    4. 透明薄膜の測定法
    5. プラスチック・フィルムの測定
    6. 屈折率の測定
    7. 膜厚と屈折率の同時測定
  5. 三次元データ処理
    1. 三次元表示ソフト
    2. 欠測値補間とノイズ除去
    3. 平面補正と曲面補正
    4. 粗さパラメータ
    5. 形状計測 (高さ、面積、体積など)
    6. ステッチング (画像連結)
  6. 光干渉測定の最新技術
    1. ワンショット干渉測定
    2. 3波長干渉測定
    3. 干渉色解析による膜厚・形状測定
    4. 波長走査・波長シフト法による透明板の形状・板厚同時測定
    • 質疑応答

講師

主催

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お問い合わせ

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(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 70,000円 (税別) / 77,000円 (税込)
複数名
: 65,000円 (税別) / 71,500円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 65,000円(税別) / 71,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 70,000円(税別) / 77,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 130,000円(税別) / 143,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 195,000円(税別) / 214,500円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
    印刷物は後日お手元に届くことになります。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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