技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、液中プラズマの基礎から解説し、液中プラズマの応用・活用について実験・実習を交えて詳解いたします。
液中プラズマとは、液体中に高周波やマイクロ波を照射し、液体中の気泡中に数1000Kの化学反応場を提供する技術である。2003年に愛媛大学で開発されて以後、液中プラズマという言葉が定着し広く用いられるようになっている。この技術は、これまでのプラズマの発生は気相だけという観念を覆した。これまでに低温高速成膜、ナノテク材料の合成、燃料ガスの製造プロセス、有害物質の分解炉としての研究開発が行われ、それらのすべてが特許として知財化されている。
本講座では、液中プラズマの実験・実習を体験し、液中プラズマの基本的な動作特性や原理を理解する。将来、本技術を様々な産業技術へ応用展開していただけることを期待する。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2024/5/21 | プラズマプロセスにおける基礎と半導体微細加工へのプラズマによるエッチングプロセス | オンライン | |
2024/5/21 | プラズマによる表面改質技術の基礎と応用 | オンライン | |
2024/5/22 | プラズマCVD (化学気相堆積) 装置による高品質薄膜の成膜技術、および量産化対応 | オンライン | |
2024/6/4 | プラズマCVD (化学気相堆積) 装置による高品質薄膜の成膜技術、および量産化対応 | オンライン | |
2024/6/5 | プラズマCVDによるナノ・微粒子材料の作製技術とプロセスモニタリング | オンライン | |
2024/6/20 | プラズマエッチング装置・プロセスにおける不良発生の検知技術と部材のプラズマ耐性向上技術 | オンライン | |
2024/6/27 | 大気圧プラズマの基礎知識 | オンライン | |
2024/7/22 | 半導体ドライエッチングの基礎と最新技術 | オンライン | |
2024/7/30 | プラズマ生成の基礎とプラズマCVD (化学気相堆積) による高品質成膜プロセスのノウハウ | オンライン | |
2024/7/31 | 半導体ドライエッチングの基礎と最新技術 | オンライン |
発行年月 | |
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2021/3/8 | プラズマ技術 (CD-ROM版) |
2021/3/8 | プラズマ技術 |
2018/9/27 | プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
2012/3/5 | 大気圧プラズマの生成制御と応用技術 改訂版 |
1991/3/1 | 光学薄膜技術 |