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薄膜測定・評価技術のポイント

剥離・密着性の改善や問題解決に役立つ

薄膜測定・評価技術のポイント

~薄膜の剥離・破壊に影響を与える物性・構造分析の実例と具体的手法 / 剥離や密着性にまつわる諸問題を解決するために~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、薄膜測定・評価について取り上げ、界面や表面、膜応力や剥離・破壊の基礎から解説し、密着性改善の考え方、密着力の評価方法について詳解いたします。

開催日

  • 2026年6月29日(月) 10時00分17時00分

受講対象者

  • 薄膜に関する新製品開発やトラブルシューティングで密着性に関する技術課題を解決したい方
  • 品質管理等で薄膜の密着性評価技術の本質を理解したい方
  • 薄膜の密着性に関して基本知識から習得したい初学者、中堅技術者

修得知識

  • 薄膜の剥離・破壊の基礎
  • 薄膜やコーティング材料の設計開発や剥離トラブルにおける具体的な対処手順
  • 薄膜の密着力や機械的特性の具体的な測定・評価技術の知識と注意点
  • 薄膜の機械的特性の向上やトラブル解決に役立つ微視的構造や膜質の評価分析技術やその活用ノウハウ

プログラム

 本セミナーでは、実際の測定や評価における技術的な観点を通して、薄膜の剥離や密着性の問題解決につなげる手法について紹介します。前半では、薄膜の剥離や密着性の問題に対処する際に、何から手を付けて良いか迷わないように、最低限知っておくべき応力や剥離破壊のメカニズムなどの基本的な技術知識について解説し、後半には、測定・評価の具体例や事例を示しながら密着力や機械的物性、膜質の測定/評価手法のポイントを詳しく述べます。薄膜の評価測定をどのように進めてよいか悩んでいる方、得られた結果を製品の設計や改良、剥離・破壊などの密着性トラブルの解決、品質管理にどのように活用して良いか困っている方、さらには、あらためて薄膜の剥離・密着性やその測定評価技術の技術的本質を理解したいという方に、教科書や論文誌からでは理解しにくい実践的な知識や問題解決のヒントが得られるようにします。特に、薄膜の膜厚や表面状態、測定条件など測定/評価結果に大きな影響を与える様々な要因や、測定や評価で得られた情報を材料や製造プロセスの設計で、どのように密着性向上へ活かしていくのかについて、わかりやく、かつ、詳しく紹介します。具体例としては、主に金属や無機のスパッタリング薄膜を取り上げますが、樹脂コーティング膜へ適用した場合も含めて解説します。
 初学者、中堅技術者で薄膜の密着性や機械的な耐久性に関して基本知識から習得したい方、新製品開発やトラブルシューティングでの技術課題を解決したい方、さらには、品質管理等で密着力や機械的特性の測定や、薄膜の表面や構造の分析に携わり、その技術の本質や注意点を理解したい方に適した内容です。本セミナーを通じて、薄膜の密着力・物性・構造の測定・評価技術の概要を把握し、個々の技術課題に対応される第一歩となれば幸いです。

  1. 薄膜の剥離/密着性を改善/制御する際に困らないようにするための基礎知識
    1. 剥離/密着性を理解し、問題解決に役立つ3つのポイント
      • 薄膜の剥離/破壊はなぜ、どこで発生するのか?
      • 薄膜がくっついているとか、剥離するとはどういうことなのか?
      • 膜応力とは? : 薄膜がもともと持つ応力と評価測定時に発生する応力は分けて考えよう
      • Griffithの破壊の考え方による膜剥離がおこる/おこらない条件とは?
    2. 密着性に関わる測定/評価をする前にチェックするポイント
      • 薄膜への負荷のかかり方が、薄膜の剥離や壊れ方へどのような影響をあたえるのか?
      • 剥離要因を明らかにするときに考えるべき、単純な4つの観点とは?
    3. 密着性の問題解決のために測定/評価プロセスを進める上での注意点
  2. 密着力の測定/評価技術の詳解と材料/プロセス設計への活かし方
    1. 密着力測定をする際に気を付けるべき測定上の注意点
    2. 密着力の代表的な評価手法であるスクラッチテストの測定/評価のポイントと上手な使い方
      • 膜質の影響 : 膜厚や表面状態
      • 測定条件の影響 : 温度/湿度や基材硬度
      • 半定量評価技術として注意すべきこと
      • スクラッチマップ (樹脂コーティングの例を含む) とは
      • 材料設計への活用のしかた
  3. 剥離/破壊の問題解決によく使われる薄膜物性/構造の分析/評価技術の実例と具体的手法
    1. 薄膜の機械的物性の評価の実例と具体的手法
      • 弾性率/伸びを測定する
      • 硬さを評価する
      • 破壊靭性を評価する
      • 膜応力を測定する
    2. 表面/界面近傍および微視的な内部構造や結合性の評価の実例と具体的手法
      • 表面状態を知る
      • 深さ方向の組成/構造変化を知る
      • SEMやTEMを利用して薄膜断面や内部の微視的な構造/結合性を知る
  4. まとめ
    • 質疑応答

講師

  • 岩村 栄治
    ペルノックス 株式会社 開発センター
    センター長

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 38,200円 (税別) / 42,020円 (税込)
複数名
: 25,000円 (税別) / 27,500円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 38,200円(税別) / 42,020円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 Zoomのシステム要件テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
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    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。