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表面分析の基礎、原理、および応用

表面分析の基礎、原理、および応用

オンライン 開催

アーカイブ配信で受講をご希望の場合、視聴期間は2025年9月29日〜10月10日を予定しております。
アーカイブ配信のお申し込みは2025年10月8日まで承ります。

概要

本セミナーでは、表面分析の基礎から解説し、X線・電子・イオンの特性とそれらがサンプル表面と相互作用する仕組み、代表的な表面分析手法の原理や分析例、応用としてマッピングや深さ分析について解説いたします。

開催日

  • 2025年9月26日(金) 10時30分16時30分

修得知識

  • 表面分析に用いるX線、電子、イオンの特徴とこれらと表面の相互作用
  • 代表的な表面分析法の基礎・原理
  • SEM-EDS
    • AFM
    • XPS
    • SIMS
  • 分析装置の一般的な仕組み
  • 各表面分析の相対的な位置づけ
  • 表面分析の結果の適切な解釈

プログラム

 先端技術の粋が集められた表面分析装置は、ナノテクを中心とした技術開発に欠かせない存在です。分析の対象は、半導体素子、医薬品、など様々であり、その使用目的もプロセス開発、品質管理、など多岐にわたっています。
 特に近年の表面分析装置はユーザーフレンドリーであり、比較的容易に相応の結果を得ることができます。その反面、いわゆるブラックボックス化が進んでいるため、表面分析の基礎や原理が蔑ろにされがちです。また、出力されたグラフや数値を確認しても、考察が不十分になる、他のデータとの不整合を見過ごす、等の問題が生じる可能性があります。そこで本セミナーでは、基礎事項として、サンプル表面に入射するX線、電子、イオンの特徴、これらと表面との相互作用、出力に至るまでの信号の流れ、等を分かり易く解説します。また、代表的な表面分析の原理や分析結果の例を紹介します。加えて、表面分析の応用として、マッピング、深さ分析について説明します。

  1. 表面分析の概要
    1. はじめに
    2. 代表的なフロー
      (入射→相互作用→認識)
  2. 表面分析の構成要素
    1. 入射
      1. X線
      2. 電子
      3. イオン
    2. 相互作用
      1. X線と表面の相互作用
        • 吸収
        • 蛍光X線
        • 回折X線 (XRD) など
      2. 電子と表面の相互作用
        • 吸収
        • 反射電子
        • 二次電子など
      3. イオンと表面の相互作用
        • 吸収
        • スパッタリング
        • RBSなど
    3. 認識
      1. 検出器
      2. 表示
    4. その他
      1. 真空
      2. ステージ
  3. 表面形状観察
    1. 光学顕微鏡
    2. SEM
    3. レーザー顕微鏡
    4. SPM
  4. 表面元素等分析
    1. XRF
    2. XPS
    3. AES
    4. S-SIMS
  5. 表面分析の応用
    1. マッピング
      1. SEM-EDS
      2. EPMA
      3. AES
      4. S-SIMS
      5. XRF
      6. XPS
    2. 深さ分析
      1. D-DIMS
      2. スパッタリングの併用
        • XPS
        • AES
        • S-SIMS
      3. RBS
  6. 補足
  7. まとめ

講師

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
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    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)

ライブ配信対応セミナー / アーカイブ配信対応セミナー

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