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ドライエッチングのメカニズムと先端ロジックデバイスのエッチング技術

ドライエッチングのメカニズムと先端ロジックデバイスのエッチング技術

~エッチング速度、形状のメカニズムとその制御手法 / FinFET, GAA, ポストスケーリング時代へ向けた最新エッチング技術~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から解説し、エッチングにおける劣化トラブルと抑制技術、プロセス制御によるCD安定化について解説いたします。

開催日

  • 2024年3月8日(金) 13時00分 16時30分

受講対象者

  • ドライエッチングに関連する技術者
    • 半導体のエッチング
    • ボーイング制御
    • マイクロローディング
    • ゲートCDの安定化
    • ゲートCDのプロセス制御 など

修得知識

  • エッチング速度のメカニズム
  • エッチング形状のメカニズムとそのハード、プロセス制御応用
  • 先端ロジックデバイスにおけるエッチング技術
  • 横方向のドライエッチング技術

プログラム

 半導体デバイスは微細化により大幅に性能を向上することで、高度な情報通信技術などの革新に寄与してきた。ドライエッチング技術はその微細化の一翼を担ってきた技術である。
 本セミナーでは、ドライエッチング技術について、表面反応モデルをベースにした形状制御の考え方と装置への展開について解説する。さらに、FinFET、GAA (Gate all around) 世代およびポストスケーリング世代を見据えた半導体デバイスのエッチング加工についての取組みと横方向の加工技術について解説する。

  1. イントロダクション
    1. 半導体デバイスのトレンドとプロセス
  2. ドライエッチング装置
    1. プラズマ源とドライエッチング装置
  3. ドライエッチングのメカニズム
    1. イオンアシスト反応 エッチング速度のモデル式
    2. エッチング選択比とガス
    3. CDシフト (寸法変動) のメカニズム
    4. 均一性制御技術
      • ウエハ温度
      • ガス分布制御
    5. 構造起因ゲート寸法ばらつきとAPC応用
  4. 先端ロジックデバイスにおけるエッチング技術
    1. DTCO採用に伴うエッチングの課題
    2. Si/SiGe fin etching
    3. SAC対応エッチング技術
    4. WFM patterning
  5. GAA/CFET世代のエッチング技術
    1. GAAのエッチング課題とSiGeリセス加工
    2. CFETで求められるエッチング加工
  6. コンフォーマルドライエッチング技術
    1. 等方性ドライエッチング技術の概要
    2. 熱サイクルALE技術と装置
    3. プラズマを用いたコンフォーマルALE
  7. まとめ
    • 質疑応答

講師

  • 伊澤 勝
    株式会社 日立ハイテク ナノテクノロジーソリューション事業統括本部
    主管技師長

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)
複数名
: 40,000円 (税別) / 44,000円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 40,000円(税別) / 44,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 80,000円(税別) / 88,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 120,000円(税別) / 132,000円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
    印刷物は後日お手元に届くことになります。
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  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
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本セミナーは終了いたしました。