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伊澤 勝
所属
株式会社 日立ハイテク
ナノテクノロジーソリューション事業統括本部
役職
主管技師長
学位
工学博士
経歴
1989年:
株式会社日立製作所 入社
1993年:
株式会社日立製作所 中央研究所にてSi、AlおよびSiO2エッチングメカニズムの研究開発に従事
2000年:
株式会社日立製作所 中央研究所にて、エッチング装置・プロセスおよびプロセス制御技術の研究開発チームを取り纏め
2009年:
株式会社日立ハイテクノロジーズに異動
次世代エッチング装置開発に従事
講演したセミナー
会場
開催方法
2024/3/8
ドライエッチングのメカニズムと先端ロジックデバイスのエッチング技術
オンライン
2011/10/31
ドライエッチングにおけるプロセス制御と形状制御
東京都