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光ナノインプリント技術の研究最前線

光ナノインプリント技術の研究最前線

~材料・プロセスの新技術~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、光ナノインプリントリソグラフィによるナノ造形・微細加工技術の先端研究例を東北大学・中川勝教授が解説いたします。
基板-レジスト間、レジスト-モールド間における理想的な界面を形成する材料技術、成形状態の可視化を可能とするレジスト材料、極限ナノ造形を目指すレーザー加工孔版印刷+光ナノインプリント成形技術など独自の先端技術が語られます。

開催日

  • 2021年9月27日(月) 13時00分 16時30分

修得知識

  • 成形に適した光硬化性材料の組み合わせ
  • シランカップリング剤などのモールド・基板の表面修飾方法
  • レジスト成形雰囲気の特徴
  • モールドエッジでの成形樹脂の形状制御

プログラム

 下地基板のナノ加工のための有型成形加工技術、光ナノインプリントリソグラフィに資する材料・プロセス・装置技術を概説します。
 材料では、基板-レジスト間の密着分子層形成材料の選択、レジスト-モールド間の離型促進分子層の選択、成形状態の可視化を可能とするレジスト材料について説明します。
 プロセスでは、非破壊で広領域の検査が可能な蛍光検査法、粗密パターンに対応するための被成形体の位置選択的配置法のレーザー加工孔版印刷を紹介します。特に、筆者らが注力しているレーザー加工孔版印刷法を組み込んだナノインプリント技術の特徴を習得できます。

  1. ナノインプリント技術における界面形成分子材料の重要性
    1. 基板-レジスト間の密着分子層
      • 形成材料の選択
      • レジスト成形・リソグラフィプロセスでの効果
      • ナノすき間に向けた材料の組合せ
    2. レジストーモールド間の離型促進分子層
      • モールドへの修飾材料
      • 化学気相表面修飾の重要性
      • 一桁ナノ成形に向けた材料選択
      • 内添離型剤の効果
      • 偏在補助剤
      • 潤滑液体層
      • ハイブリッドモールド材料の耐久性
    3. 成形状態の可視化を可能とするレジスト材料
      • 紫外線硬化性可視蛍光液体
      • 雰囲気ガスと充填欠陥・モールド汚染
      • 残膜厚・パターンの均一性
      • 蛍光アライメント技術への応用
  2. レーザー加工孔版印刷を組込んだ新しいナノインプリントリソグラフィ技術
    1. 従来の孔版印刷に対する優位性
      • 使用できる液体の粘度範囲
      • 印刷液滴の均一性と定量性
    2. 光ナノインプリントリソグラフィでの実施例
      • 酸素反応性イオンエッチングによる残膜除去
      • シリコン微細加工の例
      • マイクロパット電極
    • 質疑応答

講師

  • 中川 勝
    東北大学 多元物質科学研究所 マテリアル・計測ハイブリッド研究センター 光機能材料化学研究分野
    教授

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 30,400円 (税別) / 33,440円 (税込)
複数名
: 20,000円 (税別) / 22,000円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
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  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
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本セミナーは終了いたしました。