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光干渉法による微細三次元表面形状・膜厚分布測定の最新技術と測定ノウハウ

光干渉法による微細三次元表面形状・膜厚分布測定の最新技術と測定ノウハウ

オンライン 開催

開催日

  • 2021年8月30日(月) 10時30分 16時30分
  • 2021年9月6日(月) 10時30分 16時30分

プログラム

  1. 微細3次元表面形状計測入門
    1. 各種測定法の概要
      1. 触針式
      2. 光触針式
      3. SPM (AFM)
      4. 光切断式
      5. 共焦点顕微鏡
      6. 光干渉式
    2. 各種測定法の性能比較
  2. 光干渉式表面形状測定法
    1. 各種干渉光学系
    2. 垂直走査法 (白色干渉法) の原理と測定例
    3. 位相シフト法の原理と測定例
    4. 応用機器
  3. 光干渉式表面形状測定装置の使い方とノウハウ
    1. 段差と急斜面
    2. 狭視野と広視野
    3. 超高精度 (サブナノメートル精度)
    4. 高速測定
    5. 透明膜に覆われた表面形状
    6. 校正法
    7. 装置組み込み
  4. 光干渉式表面形状測定装置による透明膜の測定
    1. 各種膜厚測定技術
    2. 光干渉法による表面・裏面・膜厚同時測定の原理
    3. 透明厚膜の測定法
    4. 透明薄膜の測定法
    5. プラスチック・フィルムの測定
    6. 屈折率の測定
    7. 膜厚と屈折率の同時測定
  5. 三次元データ処理
    1. 三次元表示ソフト
    2. 欠測値補間とノイズ除去
    3. 平面補正と曲面補正
    4. 粗さパラメータ
    5. 形状計測 (高さ、面積、体積など)
    6. ステッチング (画像連結)
  6. 光干渉測定の最新技術
    1. ワンショット干渉測定
    2. 3波長干渉測定
    3. 干渉色解析による膜厚・形状測定
    4. 波長走査・波長シフト法による透明板の形状・板厚同時測定
    • 質疑応答

講師

主催

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受講料

1名様
: 70,000円 (税別) / 77,000円 (税込)
複数名
: 65,000円 (税別) / 71,500円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 65,000円(税別) / 71,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 70,000円(税別) / 77,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 130,000円(税別) / 143,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 195,000円(税別) / 214,500円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方

ライブ配信セミナーについて

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