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EUVリソグラフィー技術の基礎、最新技術動向と課題解決策および今後の展望

EUVリソグラフィー技術の基礎、最新技術動向と課題解決策および今後の展望

東京都 開催 会場 開催
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概要

本セミナーでは、極端紫外線リソグラフィー技術について、EUV光源技術、多層膜技術、光学系技術、マスク技術、レジスト技術等、基盤技術全般にわたって解説いたします。

開催日

  • 2020年1月30日(木) 10時30分 ～ 16時30分

受講対象者

  • 紫外線硬化樹脂に関連する技術者、開発者、研究者
    • ナノインプリント
    • 電子部品・光学部品などの接着・乾燥
    • 印刷インキの乾燥
    • 塗料・塗装コーティング剤の乾燥・硬化
    • 光ファイバ等の保護コーティング
    • 光造形
    • 3Dプリンター
    • ジェルネイル等の装飾品 など
  • 紫外線硬化樹脂の初心者、これからUV硬化性樹脂の開発に携わる方
  • 紫外線硬化処理で課題を抱えている方

修得知識

  • 極端紫外線リソグラフィー技術の基盤技術全般
    • EUV光源技術
    • 多層膜技術
    • 光学系技術
    • マスク技術
    • レジスト技術

プログラム

　極端紫外線リソグラフィー (EUVL) 技術は30年に開発期間を経て漸く7 nm nodeの半導体デバイスの量産に適用されました。しかしながら、5 nm nodeに向けて多くの課題を抱えています。EUVL技術の黎明期の基礎技術開発を紹介するとともに、最新技術開発の現状、課題への取り組み、並びに今後の半導体微細加工技術の展開についても詳説します。

  1. はじめに
    1. IoTおよびAIに期待すること
    2. 半導体市場
    3. 半導体国際ロードマップから読み取れること
    4. 半導体微細加工技術の必要性
    5. 今後の半導体技術動向と市場との関係
    6. 今後の半導体技術に期待すること
  2. リソグラフィー技術
    1. リソグラフィー技術の変遷
    2. 黎明期のX線縮小露光技術からEUVリソグラフィー技術への展開
    3. EUVリソグラフィーとは?
      • EUV光源
      • 光学系
      • レジスト
      • マスク
      • 露光機
  3. 兵庫県立大学でのEUVリソグラフィー技術開発の取り組み
    1. 日本、米国のEUVLプロジェクトの変遷
    2. ニュースバル放射光施設の紹介
  4. EUVリソグラフィー技術課題に対する取り組み
    1. レジスト材料プロセス技術
    2. マスク欠陥技術
    3. ペリクル技術
    4. EUV用光源技術
  5. Beyond EUV (EUVリソグラフィーの短波長化) の可能性
  6. 日本の半導体技術の過去、現在、今後
    ～日本の半導体技術の覇権に重要な要素～
  7. まとめ
    • 質疑応答・名刺交換
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講師

  • 渡邊 健夫 氏
    兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
    所長 / 教授
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会場

ビジョンセンター浜松町

4F Kルーム

東京都 港区 浜松町2-8-14 浜松町TSビル 4階,5階,6階 (受付6階)
ビジョンセンター浜松町の地図
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主催

サイエンス＆テクノロジー 株式会社
お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 42,750円 (税別) / 47,020円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込)

複数名同時受講の割引特典について

  • 2名様以上でお申込みの場合、
    1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,750円(税別) / 47,020円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)

学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院の教員、学生に限ります。

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