技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
本セミナーでは、レジスト、マスク、ペリクル、光源など、各要素技術の開発動向と課題解決へ向けた取り組みについて詳解いたします。
(2019年12月5日 10:00〜11:30)
EUVリソグラフィーは、現在スマートフォンを中心とする7nm nodeのロジックデバイスの量産技術に使われています。今後もEUVリソグラフィー技術は5nm node, 3nm node, 1.5nm nodeの半導体デバイスの量産技術に使われることになっています。
本セミナーでは、この中でEUVリソグラフィー技術の露光波長が13.5nmになった理由等の基礎的な内容をはじめ、これまでのレジスト、マスク、ペリクル、並びに光源開発技術課題の解決に向けた取り組みについて紹介します。また、今後課題となる要素技術についても議論します。さらに、今後の見通しでは、2030年以降のEUVリソグラフィー技術の開発の取り組みについても言及します。
(2019年12月5日 12:10〜13:40)
メモリー、マイクロセッサ等のデバイスの高集積化の要求は、携帯端末、情報機器等の高性能化に伴い益々大きくなっています。本年度は7nmロジックノードのデバイスが実用化され、EUVリソグラフィが導入されています。本講演では、EUVリソグラフィによる微細化を支えるレジストについて、基礎、開発動向、高感度・高解像度化と要求特性、課題と対策、最新技術を解説し、今後の展望についてまとめます。
(2019年12月5日 13:50〜15:20)
(2019年12月5日 15:30〜17:00)
いよいよEUVリソグラフィが7nm nodeのロジックデバイスの量産技術に使われる時代が到来した。それに伴い、EUV用フォトレジストの開発も重要な局面を迎えつつある。そこで、私の担当講座として、特にEUV用フォトレジストの評価技術について紹介したい。EUV露光中のレジストからのアウトガス分析法、EUVレジストの透過率測定法、EUVレジストの感度評価法、およびGCIB TOF – SIM分析による膜内挙動の解析について述べる。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
---|---|---|---|
2024/5/15 | 高分子の結晶化、結晶高次構造の制御、分析解析、その応用 | オンライン | |
2024/5/15 | UV硬化樹脂における硬化不良対策と硬化状態の測定・評価 | オンライン | |
2024/5/15 | ヒートシールのくっつくメカニズムと不具合対策、品質評価 | オンライン | |
2024/5/16 | 二軸押出機による混練技術とプロセス最適化 | オンライン | |
2024/5/16 | 高分子材料における添加剤の基礎知識と分析法、変色の特徴と分析技術 | オンライン | |
2024/5/17 | エポキシ樹脂の構造、特性と硬化剤の選び方・使い方、トラブル対策 | オンライン | |
2024/5/17 | 高分子材料のトライボロジー: トライボロジーの基礎から摩耗・摩擦低減技術の手法と特徴まで | オンライン | |
2024/5/20 | 導電性高分子の基礎と最新の研究動向・応用 | オンライン | |
2024/5/21 | 高分子材料のモノマー化、解重合反応とケミカルリサイクルの動向 | オンライン | |
2024/5/21 | 摩擦振動と異音の発生メカニズムと抑制・対処方法 | オンライン | |
2024/5/22 | ナノインプリントの基礎と製品応用・最新動向 | オンライン | |
2024/5/22 | ポリフェニレンサルファイド (PPS) 樹脂の基礎と応用技術の総合知識 | オンライン | |
2024/5/22 | マーセル化による天然繊維の樹脂複合化と特性改善 | オンライン | |
2024/5/23 | チクソ性 (チキソ性) の基礎と評価および活用方法 | オンライン | |
2024/5/24 | UV硬化とEB硬化の基礎と技術比較および応用技術 | オンライン | |
2024/5/24 | エポキシ樹脂の実用の基礎知識とフィルム化 & 接着性の付与技術とその応用 | オンライン | |
2024/5/24 | 高分子材料における添加剤の基礎知識と分析法、変色の特徴と分析技術 | オンライン | |
2024/5/28 | 樹脂成型の知識 | オンライン | |
2024/5/28 | プラスチックフィルムにおける各樹脂特性、添加剤・成形加工技術および試験・評価方法 | オンライン | |
2024/5/28 | 絶縁破壊・劣化の基礎、測定・劣化診断と高分子絶縁材料の高機能化 | オンライン |
発行年月 | |
---|---|
2024/2/29 | プラスチックのリサイクルと再生材の改質技術 |
2023/10/31 | エポキシ樹脂の配合設計と高機能化 |
2023/7/31 | 熱可塑性エラストマーの特性と選定技術 |
2023/7/14 | リサイクル材・バイオマス複合プラスチックの技術と仕組 |
2023/3/31 | バイオマス材料の開発と応用 |
2023/1/31 | 液晶ポリマー (LCP) の物性と成形技術および高性能化 |
2023/1/6 | バイオプラスチックの高機能化 |
2022/10/5 | 世界のプラスチックリサイクル 最新業界レポート |
2022/8/31 | ポリイミドの高機能設計と応用技術 |
2022/5/31 | 樹脂/フィラー複合材料の界面制御と評価 |
2022/5/31 | 自動車マルチマテリアルに向けた樹脂複合材料の開発 |
2022/5/30 | 世界のバイオプラスチック・微生物ポリマー 最新業界レポート |
2021/12/24 | 動的粘弾性測定とそのデータ解釈事例 |
2021/7/30 | 水と機能性ポリマーに関する材料設計、最新応用 |
2021/7/28 | プラスチックリサイクル |
2021/6/29 | UV硬化樹脂の開発動向と応用展開 |
2021/5/31 | 高分子材料の劣化・変色対策 |
2021/5/31 | 重合開始剤、硬化剤、架橋剤の選び方、使い方とその事例 |
2021/4/30 | 建築・住宅用高分子材料の要求特性とその開発、性能評価 |
2021/1/29 | 高分子材料の絶縁破壊・劣化メカニズムとその対策 |