第1部 ラボで用いる「純水」・「超純水」の水質管理や規格について

(2025年10月24日 10:15〜12:15)

　ラボ用超純水装置を用いる際のその水質の管理とその留意点を述べる。 特に微粒子管理については現状課題も多いので特に1章を設けて解説する。

1. 超純水装置の精製技術
   1. ラボで用いる超純水装置の概要
   2. 超純水装置に用いる要素技術
      1. 膜分離
      2. イオン交換
      3. 活性炭
      4. 紫外線
   3. ラボ用超純水装置のシステムフロー
2. ラボで用いる超純水装置の水質・水質表示
   1. 元素 (無機物) 分析例
   2. 有機物分析例
      1. VOC
      2. PFAS
   3. 純水・超純水の水質比較
   4. 比抵抗値による水質表示の意味
3. 超純水装置の水質管理の注意点
   1. 比抵抗による水質管理の留意点
   2. TOC値による水質管理の留意点
4. ラボ用超純水装置の微粒子管理
   1. ラボ用超純水装置の微粒子除去能
   2. ラボ用超純水装置の問題点
      1. 採水口フィルター
      2. 装置の断続運転
   3. ラボ用超純水装置で微粒子フリー水を得る
5. まとめ
• 質疑応答

第2部 「純水」・「超純水」製造・維持におけるイオン交換樹脂について

(2025年10月24日 13:00〜14:00)

　純水や超純水は、半導体産業や火力・ボイラー業界、燃料電池など幅広い 産業界で使用されています。その純水・超純水の製造にイオン交換樹脂により精製技術は必須の技術です。本講演では、イオン交換樹脂の特性や 使用方法、特徴的なイオン交換樹脂について解説します。

1. はじめに
   1. 水の解説
   2. イオン交換樹脂の役割
2. イオン交換樹脂の構造と種類
   1. イオン交換樹脂の構造
   2. イオン交換樹脂の特性
   3. カチオン樹脂とアニオン樹脂
   4. キレート樹脂
3. イオン交換樹脂の特性
   1. 化学的特性
      • 交換容量
      • 反応速度
      • 選択性 等
   2. 物理的、水力学的特性
      • 粒径分布
      • 強度 等
   3. イオン交換樹脂の再生
4. 純水、超純水の製造とイオン交換樹脂の役割
   1. イオン交換樹脂による純水・超純水の製造
   2. 装置構成
   3. イオン交換樹脂の機能・選定
5. まとめ
• 質疑応答

第3部 イオン交換樹脂による金属イオンの捕集と半導体製造プロセスへの応用

(2025年10月24日 14:05〜15:05)

　イオン交換樹脂は、純水や超純水の製造など液体を清澄化する技術として広く使用されています。特に、液体中に存在するイオン性不純物の除去や、有価金属の回収、排水中の有害物質の除去など、様々な工業分野で活躍しています。 そこで、使用されているイオン交換樹脂の諸特性の意味について解説すると共に、液体中に含まれる金属イオンの吸着と、半導体製造プロセスに必要な超純水製造におけるイオン交換樹脂の役割について解説します。

1. イオン交換樹脂による金属吸着
   1. イオン交換樹脂・キレート樹脂の種類
   2. イオン交換樹脂の選択性
   3. キレート樹脂による金属吸着
   4. 評価事例
2. 半導体製造プロセスにおける超純水製造
   1. 半導体製造プロセスにおけるイオン交換樹脂の必要性
   2. 高純度イオン交換樹脂
   3. 評価事例
• 質疑応答

第4部 「液中」パーティクルカウンターの 構成、使い方、各種応用

(2025年10月24日 16:00〜17:00)

　溶液中に分散する粒子の分散・安定性の評価は、一般的にゼータ電位や粒子径、粒度分布などがある。特にナノ粒子から数μmの粒子においては、最も簡便な測定法として光散乱電気泳動法、動的光散乱法がある。今回、その手法の測定原理、測定時のノウハウおよびアプリケーションデータを紹介したい。

1. 液中粒子数の測定技術について
   1. OPC (Optical Particle Counter) とその限界について
   2. 表面検査装置について
   3. パーティクルプリカーサーについて
   4. 粒子発生+CPC (Condensation Particle Counter) の手法について
2. 標準化への動き IRDSおよびSEMIの取り組み
   1. 超純水の清浄度管理
   2. IPAの清浄度管理
   3. その他薬液の清浄度管理
3. その他最新情報について
• 質疑応答