技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、混合ガスの選択、レシピ構成、新規ガスの開発、エッチングプロセス制御に向けて、計算化学で得られた知見を提供いたします。
プロセスガスの物性 (イオン化、励起及び電子付着解離) について計算化学を用いて解析し、生成物及びその化学反応性を理解する。そこから得られた知見を基にプロセスに有用な反応種を特定するとともに導入するプロセスガス及び混合ガスの選択 (レシピ構成) 及び新規ガスの開発を検討する。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2025/2/27 | 計算科学シミュレーション技術の基礎と材料設計への応用 | オンライン | |
2025/3/31 | マテリアルズインフォマティクスの中核をなす計算科学シミュレーション技術 | オンライン |
発行年月 | |
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2023/9/29 | 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 |
2022/10/31 | 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術 |
2021/6/28 | AI・MI・計算科学を活用した蓄電池研究開発動向 |
2018/3/20 | レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決 |