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計算化学を用いたエッチングガスの一次解離過程と新規ガスの開発

計算化学を用いたエッチングガスの一次解離過程と新規ガスの開発

オンライン 開催

概要

本セミナーでは、混合ガスの選択、レシピ構成、新規ガスの開発、エッチングプロセス制御に向けて、計算化学で得られた知見を提供いたします。

開催日

  • 2025年3月26日(水) 10時30分 16時30分

修得知識

  • プラズマ生成の基礎
  • 計算化学の概要
  • 計算化学で明らかになったプロセス
  • 計算化学で明らかになった一次解離過程と生成物
  • 計算化学から得られた知見により開発されたエッチング技術
  • 計算化学から見た新規エッチングガスの提案
  • 計算化学から見た今後の研究課題

プログラム

 プロセスガスの物性 (イオン化、励起及び電子付着解離) について計算化学を用いて解析し、生成物及びその化学反応性を理解する。そこから得られた知見を基にプロセスに有用な反応種を特定するとともに導入するプロセスガス及び混合ガスの選択 (レシピ構成) 及び新規ガスの開発を検討する。

  1. プラズマ生成の基礎
    1. 今後の課題…負イオンおよびラジカルの計測とプラズマシミレーション
    2. 負イオンは無視してよいか?
  2. 計算化学の概要
    1. 計算方法の種類:密度汎関数法とab initio法
    2. 各種計算方法の優位性
  3. 計算化学で明らかになったプロセス
    1. Siエッチングにおける酸素及び窒素添加効果
    2. ゲート付近に残留したSiO2のダメージレス化学エッチング
    3. イオン及びラジカルの生成機構と選択比
    4. 気相中の電荷交換、表面からの脱離反応、負イオン放出
  4. 計算化学で明らかになった一次解離過程と生成物
    1. メタン系フッ化物
    2. エタン系フッ化物
    3. C3F6, C3F8,C4F6, c – C4F8,c – C5F8
  5. 計算化学から得られた知見により開発されたエッチング技術
    1. 窒化膜の高選択比エッチング
    2. NO + F2 → FNO + F 等の化学反応
  6. 計算化学から見た新規エッチングガスの提案
    1. CxHyFz化合物
    2. その他の化合物 (CF3NO,CF3NH2,SiH4 他)
  7. 計算化学から見た今後の研究課題
    1. 負イオン形成機構と計測技術およびその役割
    2. 計算化学から得られたデータを基にした断面積の見積もり

講師

  • 林 俊雄
    名古屋大学 大学院工学研究科 プラズマナノ工学研究センター
    特任教授

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 38,200円 (税別) / 42,020円 (税込)
複数名
: 25,000円 (税別) / 27,500円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 38,200円(税別) / 42,020円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
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  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
  • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
    ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
    印刷物は後日お手元に届くことになります。
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