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「計算化学を用いたエッチングガスの一次解離過程と新規ガスの開発」の関連セミナー・出版物

これから開催される関連セミナー

開始日時 会場 開催方法
2026/3/2 ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング (ALE) の最新技術動向 オンライン
2026/3/4 プラズマの基礎特性と半導体成膜、エッチングでの応用技術 オンライン
2026/3/6 生成AIの隆盛に伴う半導体装置・材料のトレンドと今後の展望 (2026年版) オンライン
2026/3/13 プラズマの基礎特性と半導体成膜、エッチングでの応用技術 オンライン
2026/3/16 クライオエッチングの反応メカニズムと高アスペクト比加工技術 オンライン
2026/3/25 SiC半導体における表面形態制御とメカニズム オンライン
2026/3/26 SiC半導体における表面形態制御とメカニズム オンライン
2026/3/27 マテリアルズインフォマティクスの主幹となる計算科学シミュレーション オンライン
2026/3/27 プラズマプロセスの診断・モニタリングとそれに基づくプロセスの最適化 オンライン
2026/3/30 プラズマプロセスの診断・モニタリングとそれに基づくプロセスの最適化 オンライン
2026/4/7 マテリアルズインフォマティクスの主幹となる計算科学シミュレーション オンライン
2026/4/15 計算化学からみたエッチングガスの電子物性と解離 オンライン
2026/5/14 計算科学シミュレーション技術の基礎と材料設計への応用 オンライン
2026/5/21 プラズマエッチングにおけるパーティクル・プロセス異常の検出とプラズマ耐性材料とその評価技術 オンライン