有機分子の化学吸着によって形成される単層膜、SAM (Self-Assembled Monolayer)、さらには多層集積膜に関する研究が、近年大きく進展し、基礎・応用の両面から注目されるようになった。SAMは、いわゆる自己集積化あるいは自己組織化と呼ばれる過程を経て形成される単分子膜であり、有機分子の化学吸着過程で固体表面上に形成される分子会合体である。吸着分子同士の相互作用によって会合体構成分子が密に集合し、分子配向と配列が高度に規則的な構造が、自発的に形成されていることが特徴である。
　本セミナーでは、自己集積化によるSAM形成、SAMの分子配列構造と物性、および、SAMを積層して作製する多層膜、すなわち、Self-Assembled Multilayerについて、さらには、膜厚を分子レベルで比較的簡易に制御できるこれらの分子薄膜の工学的応用について解説する。

1. 自己集積化による単分子膜形成
2. 自己集積化単分子膜 – Self-Assembled Monolayer
   1. 遷移金属表面へのSAM形成
   2. 酸化物表面へのSAM形成
   3. 水素終端化シリコン表面へのSAM形成
   4. その他のSAM
3. 有機シラン系SAMの気相成長とその応用
   1. 密閉型システムによる有機シランSAM被覆
   2. 気相成長アルキルシランSAMの欠陥修復
   3. 高分子材料へのシランカップリングSAM形成
4. 自己集積化による多層膜形成,Self-Assembled Multilayer
   1. 自己集積化多層膜
   2. SAMの表面修飾による多層化
5. 自己集積化分子膜による材料表面処理への応用
   1. アミノシランSAMによる塗装密着性の改善
   2. アミノシランSAMによる無電解めっき前処理
   3. フッ素系SAMによる撥水性発現
   4. ガスバリア膜の表面改質
   5. ホスホン酸 – ジルコニウム自己集積化積層防食被膜
   6. SAMによる界面接合
6. シリコン表面への直接結合型SAMの形成
   1. 直接結合型SAMの化学耐久性
   2. 直接結合型SAMの電子物性/機能
7. SAMのマイクロ/ナノパターニング
   1. SAMの光パターニング
   2. 真空紫外光を利用したSAMのパターニング
   3. マイクロテンプレートとしての微細構造化SAM
8. まとめ
• 質疑応答