技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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大阪大学
産業科学研究所
1983年から松下電器産業 株式会社 半導体研究センター、パナソニック 株式会社 プロセス開発センターにて、半導体リソグラフィプロセス、レジスト、微細加工用材料の開発に従事。
2009年から大阪大学産業科学研究所にて、EUVレジストの研究開発に従事。
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| 2025/2/6 | レジスト/EUVレジスト・微細加工用材料の基礎と具体的なトラブル対策 | オンライン |
| 会場 | 開催方法 | ||
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| 2019/1/25 | レジスト・微細加工用材料の基礎と最新技術動向 | 東京都 | |
| 2018/5/21 | レジスト・微細加工用材料への要求特性と最新技術動向 | 東京都 |