技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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アーカイブ配信で受講をご希望の場合、視聴期間は2024年12月2日〜16日を予定しております。
アーカイブ配信のお申し込みは2024年12月13日まで承ります。
本セミナーでは生物体表にスパッタリング成膜を可能にした新開発のカソードについて重点的に紹介いたします。
また、スパッタリング成膜技術の特に生体温度域でのプラズマスパッタリング成膜技術に必要な事項について基本から応用まで解説し、実現にあたって重要になる技術イメージを共有いたします。
さらに、本成膜技術で実現できる応用例についても、わかりやすく解説いたします。
スパッタリング成膜技術は、金属膜や機能性膜を様々な基材表面に形成できる、半導体プロセスをはじめとした様々な分野で用いられている技術です。これまでは温度ダメージやプラズマダメージなどにより「生物体表」にスパッタ成膜を行うことは困難とされてきました。
今回のセミナーでは生物体表にスパッタリング成膜を可能にした新開発のカソードについて重点的に紹介します。スパッタリング成膜技術の特に生体温度域でのプラズマスパッタリング成膜技術に必要な事項について基本から応用まで解説し、実現にあたって重要になる技術イメージを共有します。また本成膜技術で実現できる応用例について初学者にもわかりやすく解説します。
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| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2024/11/28 | ゾル-ゲル法の基礎と機能性材料作製への応用および新展開 | オンライン | |
| 2024/12/6 | ゾル-ゲル法の基礎と機能性材料作製への応用および新展開 | オンライン | |
| 2024/12/10 | 半導体機能素子製造向けドライプロセス入門 | オンライン | |
| 2024/12/13 | 生体温度域でのスパッタリング成膜技術の基礎と応用 | オンライン | |
| 2025/1/29 | 薄膜作製の基礎とトラブル対策 | オンライン | |
| 2025/2/4 | 薄膜作製の基礎とトラブル対策 | オンライン | |
| 2025/3/14 | スパッタリング法の総合知識と薄膜の特性制御・改善、品質トラブルへの対策 | オンライン | |
| 2025/3/28 | スパッタリング法の総合知識と薄膜の特性制御・改善、品質トラブルへの対策 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2023/9/29 | 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 |
| 2018/9/27 | プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2012/1/30 | 水処理膜の製膜技術と材料評価 |
| 2010/2/25 | コーティング材料のコントロールと添加剤の活用 |
| 1991/3/1 | 光学薄膜技術 |