技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーではプラズマの特性、プラズマ物性、プラズマの計測方法などのプロセッシングにおいて必要な基礎知識から、ナノ粒子を合成するためのプロセスや廃棄物処理プロセスの最新の研究動向について解説いたします。
ナノ粒子やナノチューブの合成をはじめとして、プラズマを用いる材料プロセッシングの研究が産学ともに活発である。さらにプラズマを用いる廃棄物処理プロセスも注目されている。これらのプロセッシングに用いられるプラズマのうち、大気圧で発生する熱プラズマと非平衡プラズマに注目し、プラズマの発生方法や特徴を把握するための基礎知識に関する解説を行う。これらの知識は、各種のプロセスにおける要求内容に応じて、適切な種類のプラズマとそのプロセス条件を決定するために大切である。
本セミナーでは、アーク放電や高周波放電等による熱プラズマ、およびグロー放電等の大気圧非平衡プラズマの発生方法の原理、それぞれのプラズマの特性、プラズマ物性、プラズマの計測方法などのプロセッシングにおいて必要な基礎知識を論じ、さらにナノ粒子を合成するためのプロセスや廃棄物処理プロセスの最新の研究動向およびプロセスの原理を紹介する。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2024/4/23 | 半導体ドライエッチングの基礎と原子層プロセスの最新動向 | オンライン | |
2024/7/22 | 半導体ドライエッチングの基礎と最新技術 | オンライン | |
2024/7/31 | 半導体ドライエッチングの基礎と最新技術 | オンライン |
発行年月 | |
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2021/3/8 | プラズマ技術 |
2021/3/8 | プラズマ技術 (CD-ROM版) |
2018/9/27 | プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 |
2012/3/5 | 大気圧プラズマの生成制御と応用技術 改訂版 |