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TOF-SIMSの基礎と応用

TOF-SIMSの基礎と応用

～飛行時間型二次イオン質量分析の基礎、分析の進め方、データ解析の注意点、各種表面分析手法との組み合わせ方～
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概要

本セミナーでは、TOF-SIMSの実践的な解析方法と最新のTOF-SIMSの応用事例について解説いたします。

配信期間

  • 2026年4月10日(金) 13時00分 ～ 2026年4月23日(木) 16時30分

お申し込みの締切日

  • 2026年4月10日(金) 13時00分

受講対象者

  • TOF-SIMS装置を使用する技術者、研究者、材料開発者
  • TOF-SIMSデータを解釈する必要がある方
  • 表面分析による解析を立案する必要がある方

修得知識

  • 飛行時間型二次イオン質量分析法 (TOF-SIMS) の原理
  • 飛行時間型二次イオン質量分析法 (TOF-SIMS) 分析の進め方
  • 飛行時間型二次イオン質量分析 (TOF-SIMS) データ解析の注意点
  • 各種表面分析の中でのTOF-SIMS分析の特徴と組み合わせ方

プログラム

　飛行時間型二次イオン質量分析 (TOF-SIMS) 法は、無機微量元素とともに有機物の化学構造情報が同時に得られるユニークな表面分析法である。
　固体最表面の高感度かつ詳細な化学分析が可能であるほかに、近年は、クラスターイオンビーム技術の導入により、有機物の高感度分析が可能になったほか、有機深さ方向分析の能力が飛躍的に向上した。著しい進歩を遂げているTOF-SIMSについて、最新の測定・解析技術と応用事例を紹介する。

  1. 表面分析法とは
    1. 表面・界面の重要性
    2. 各種表面分析法の特徴
    3. 他の表面分析手法との比較
  2. TOF-SIMS法の原理と特徴
    1. 二次イオン質量分析 (SIMS) の原理
    2. 質量分析器の比較
    3. 飛行時間型質量分析 (TOF-SIMS) 法の原理
    4. TOF-SIMSが最表面分析手法となる理由
    5. 一次イオン源
    6. イメージング分析と「あとから解析 (Retrospective Analysis) 」
  3. TOF-SIMS試料のサンプリングとハンドリング
    1. 測定できる試料とその形状
    2. 試料のハンドリングとサンプリング
    3. 粉末試料
    4. 絶縁試料
  4. TOF-SIMS測定と解析の実際
    1. TOF-SIMSの測定モード
    2. スペクトル測定
    3. スペクトル解析、正イオンスペクトルと負イオンスペクトル
    4. マスピークの同定
    5. データベースを利用した化合物の同定
    6. 新しい技術 (MS/MSの利用)
  5. 深さ方向分析
    1. スパッタイオン源の選択
    2. 無機試料の深さ方向分析
    3. 単原子イオンとクラスターイオ3ン
    4. クラスターイオンエッチングの原理と特徴
    5. 有機試料の付加方向分析
    6. TOF-SIMSによる深さ方向分析の特徴と注意点
  6. 最新のTOF-SIMSの分析例
    1. 表面性状の分析
    2. 材料表面微小異物の分析
    3. 電極材料分析
    4. 高分子材料の分析
    5. 薬剤の分析
    6. 生体試料の分析
  7. よくある質問
    1. なぜ一次イオンに高加速電圧 (高エネルギー) を用いるのか?
    2. 一次イオンビームと試料の反応はどう考えたらよいか?
    3. 無機物を含む試料のクラスターイオン分析は有効か?
    4. 失敗から成功へと導いた分析事例の紹介
  8. まとめ、質疑
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講師

  • 眞田 則明 氏
    アルバック・ファイ株式会社
    分析技術顧問
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主催

サイエンス＆テクノロジー 株式会社
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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 34,400円 (税別) / 37,840円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 34,400円(税別) / 37,840円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 請求書は、代表者にご送付いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

アーカイブ配信セミナー

  • 「ビデオグ」を使ったアーカイブ配信セミナーとなります。
  • 当日のセミナーを、後日にお手元のPCなどからご視聴ができます。
  • お申し込み前に、 視聴環境 をご確認いただき、 視聴テスト にて動作確認をお願いいたします。
  • 別途、ID,パスワードをメールにてご連絡申し上げます。
  • 視聴期間は2026年4月10日〜23日を予定しております。
    ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
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