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表面分析 (TOF-SIMS、XPS) の原理と分析のポイント・注意点

表面分析 (TOF-SIMS、XPS) の原理と分析のポイント・注意点

～各種分析方法の特徴、進め方、分析事例、データ解釈～
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概要

本セミナーでは、表面分析について基礎から解説し、表面分析法の適切な使い分け、試料作製、測定条件の設定方法、データ解析を適切におこなうためのノウハウを解説いたします。

開催日

  • 2023年9月27日(水) 13時00分 ～ 16時00分

受講対象者

  • XPS (ESCA) 装置を使用する技術者、研究者、開発者
  • これからXPS (ESCA) 装置を使用する担当者
  • XPS (ESCA) データを解釈する必要がある方
  • 表面分析による解析を立案する必要がある方

修得知識

  • 表面分析の原理と基礎知識
    • XPS
    • AES
    • TOF-SIMS
  • 表面分析の進め方
  • 表面分析の特徴と使い分け
  • データ解釈の注意点
  • 最新の表面分析技術
  • 問題解決事例

プログラム

　固体表面は、物質の内部と異なる化学組成や化学状態をもっており、他の材料や環境との界面となる。このため、剥離や変色などの品質問題の解決になるのはもちろんのこと、電池材料・触媒・半導体・各種材料やデバイスで表面・界面を制御し理解することが商品開発のキーとなる。さまざまな表面分析の中でも特に使用頻度が高く注目されているTOF-SIMSとXPS (ESCA) をとり上げ、製造・品質保証や研究開発の現場における表面分析の重要性を解説する。また、表面数ナノメートルの分析をおこなう表面分析では、正しい測定手法の理解と、適切な分析運用が必須となる。
　本講座では表面分析の原理とそれに基づいた適切な使い分けを理解し、試料作製、測定条件の設定方法、データ解析を適切におこなうためのノウハウを紹介する。講義にあたっては、応用例を用いたわかりやすい説明をおこなう。

  1. 表面分析法の特徴
    1. 表面分析の重要性
    2. 表面分析法の種類
    3. 表面分析法による機能材料評価の特徴
  2. TOF-SIMS法の原理と特徴
    1. 二次イオン質量分析 (SIMS) 法の原理
    2. 質量分析器の比較
    3. 飛行時間型質量分析が表面分析となる理由
    4. 一次イオン源
    5. イメージング分析
  3. XPS法の原理と特徴
    1. X線光電子分光 (XPS) 法の原理
    2. XPS法が表面分析となる理由
    3. イメージング分析
  4. 試料:サンプリングとハンドリング
    1. 測定できる試料と形状
    2. ハンドリングとサンプリングの注意点
    3. 粉末試料
    4. 絶縁試料
    5. 電池材料、大気非暴露測定
  5. 深さ方向分析:イオンエッチングの原理と特徴
    1. 単原子イオンとクラスターイオン
    2. クラスーイオンエッチングの原理と特徴
    3. イオンエッチングによる表面汚染除去と注意点
    4. 深さ方向分析と注意点
  6. TOF-SIMS法の測定と解析
    1. 正イオンスペクトルと負イオンスペクトル
    2. マスピークの同定と注意点
    3. データベースの利用と注意点
    4. 新しい技術 (AIの利用、MS/MSの利用)
  7. XPS法の測定と解析
    1. ワイドスペクトル (サーベイスペクトル)
    2. ナロースペクトル
    3. 化学状態分析と注意点
    4. 定量分析と注意点
    5. 新しい技術 (薄膜構造解析)
  8. 最新の測定・解析例
    1. 表面性状の分析
    2. 表面微小異物の分析
    3. 配線材料・電極材料の分析
    4. 半導体材料の分析
    5. 有機デバイスの分析
  9. まとめ
    • 質疑応答
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主催

株式会社 R&D支援センター
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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります)

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    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
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    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
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  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
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