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固体表面の分析 (XPS, AES, TOF-SIMS) と実践ノウハウ

固体表面の分析 (XPS, AES, TOF-SIMS) と実践ノウハウ

~各種分析方法の特徴、進め方、分析事例、データ解釈~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、固体表面の組成や状態、構造の正しい情報を得るためのコツ、テクニックを解説いたします。

開催日

  • 2022年12月5日(月) 12時30分 16時30分

受講対象者

  • XPS (ESCA) 装置を使用する技術者、研究者、開発者
  • これからXPS (ESCA) 装置を使用する担当者
  • XPS (ESCA) データを解釈する必要がある方
  • 表面分析による解析を立案する必要がある方

修得知識

  • 表面分析の原理と基礎知識
    • XPS
    • AES
    • TOF-SIMS
  • 表面分析の特徴と使い分け
  • 表面分析の使い方
  • 表面分析結果解釈の実例

プログラム

 表面・界面は、あらゆる固体材料・デバイスにおいて、機械的接合、電気的接合、変色、防食をはじめとする様々な機能に関与している。特にXPS、AES、TOF-SIMSの3種の表面分析は、固体表面数nm (数十原子層、分子層) の組成と状態を調べることができ、最表面および界面を詳しく調べることができる手法であるが、試料の取り扱いやデータの解釈に不用意な取り扱いができない。
 本講座では実践的な表面分析のノウハウを述べるとともに、現代の重要な材料の分析事例を通じて、表面分析の利用のコツや考え方を明らかにする。

  1. 固体表面分析 (XPS,AES,TOF-SIMS) の基礎
    1. 表面数原子・数分子層の重要性
    2. なぜ極表面の分析や極薄膜の分析が可能になるのか?
    3. 表面分析法の比較
    4. 他の分析手法と比較した特徴
  2. 表面分析をはじめる前に
    1. 試料の観察
    2. 表面分析のための試料の取り扱い
    3. 分析時の表面汚染を避けるテクニック
  3. XPS分析
    1. XPS分析の原理
    2. XPS分析の特徴
    3. チャージアップへの対応
    4. ワイドスペクトル、元素の同定
    5. ナロースペクトル、定量と化学状態分析
    6. 深さ方向分析
    7. GCIB (ガスクラスターイオン) による深さ方向分析
  4. AES分析
    1. AES分析の原理
    2. AES分析の特徴
    3. チャージアップへの対応
    4. スペクトル測定、元素の同定
    5. マップ測定
    6. 深さ方向分析
    7. 多変量解析 (TFA)
  5. TOF-SIMS分析
    1. TOF-SIMS分析の原理
    2. TOF-SIMS分析の特徴
    3. チャージアップへの対応
    4. スペクトル測定、イオンの同定
    5. マップ測定、異物の観察
    6. 多変量解析 (MCR)
    7. 深さ方向分析、SIMSの使い分けと注意点
  6. 分析条件と適切なデータ処理の実例
    1. 電池負極の分析例
    2. 半導体表面誘電体膜の分析例
    3. 有機高分子材料中の添加剤分布分析例
    4. 粉体薬剤表面の分析例
    • 質疑応答

講師

  • 眞田 則明
    アルバック・ファイ 株式会社 製品戦略部 製品企画室
    専門部長

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)
複数名
: 40,000円 (税別) / 44,000円 (税込)

複数名同時受講割引について

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 40,000円(税別) / 44,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 80,000円(税別) / 88,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 120,000円(税別) / 132,000円(税込)
  • 同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 他の割引は併用できません。

アカデミック割引

  • 1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)

日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。

  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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