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ミストCVD法の基礎と酸化ガリウムのパワーデバイスへ向けた結晶成長・薄膜形成技術

ミストCVD法の基礎と酸化ガリウムのパワーデバイスへ向けた結晶成長・薄膜形成技術

オンライン 開催

概要

本セミナーでは、酸化ガリウム (Ga2O3) を低コストで成膜するミストCVD法と、パワーデバイス応用に重要な不純物添加技術や混晶化技術について詳解いたします。

開催日

  • 2022年8月30日(火) 13時00分 17時00分

受講対象者

  • 酸化ガリウム半導体に関連する技術者、開発者、研究者
    • 電機
    • 半導体
    • 自動車部品
    • 化学
    • 半導体商社
    • 半導体装置
  • パワー半導体、半導体製造装置に関心のある方

修得知識

  • Ga2O3の基礎物性
  • Ga2O3の結晶成長技術
  • Ga2O3の結晶多形制御
  • ミストCVD法の原理
  • Ga2O3の各種形成法

プログラム

 本講演では、低コストの成膜方法として期待されているミストCVD法と、大きなバンドギャップと低コストで形成できる酸化ガリウム (Ga2O3) について紹介する。そのGa2O3は5つの結晶多形が存在し、その結晶多形によって異なる特徴を持つことから、それぞれ異なるデバイスへの応用が検討されている。
 本セミナーでは、酸化ガリウムの結晶多形の特徴や形成技術、またそれぞれの課題などについて説明する。また、論文や特許調査から酸化ガリウムに取り組んでいる研究機関などについても紹介する。形成技術については講演者が開発したミストCVD法を中心に、MBE法やMOCVD法などの手法でのそれぞれの結晶多形についての例を紹介する。また、パワーデバイス応用に重要な不純物添加技術や混晶化技術についても紹介する。

  1. ミストCVD法
    1. ミストCVD法の原理
    2. ミストCVD法の歴史
    3. ミストCVD法の成膜例 (Ga2O3以外)
  2. 酸化ガリウムの基礎物性
    1. 酸化ガリウムのデバイス構造からみた開発のポイント
    2. 酸化ガリウムの結晶多形
    3. 酸化ガリウムの研究機関
  3. 酸化ガリウムの結晶成長・薄膜形成
    1. 結晶成長・薄膜形成方法
    2. 酸化ガリウムで用いられる結晶成長・薄膜形成方法
  4. α相酸化ガリウムの結晶成長・薄膜形成
    1. α-Ga2O3の結晶成長
    2. 成長法
    3. 課題と高品質化
    4. 混晶化技術
    5. デバイス動作 (結晶成長から見た)
    6. n型制御
    7. p型制御
  5. β相酸化ガリウムの結晶成長・薄膜形成
    1. β-Ga2O3の結晶成長
    2. 成長法
    3. n型制御
    4. 混晶化技術
    5. デバイス動作 (結晶成長から見た)
  6. κ相酸化ガリウムの結晶成長・薄膜形成
    1. κ-Ga2O3の結晶成長
    2. 成長法
    3. 強誘電体特性とHEMT
    4. 混晶化技術
    5. 高品質化
  7. γ相酸化ガリウムの結晶成長・薄膜形成
    1. γ-Ga2O3の結晶成長
    2. 混晶化技術
    3. 成長法
  8. 結晶多形の制御方法
  9. まとめと展望

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)
複数名
: 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります)

案内割引・複数名同時申込割引について

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「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 40,000円(税別) / 44,000円(税込) で受講いただけます。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。

  • R&D支援センターからの案内を希望する方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
  • R&D支援センターからの案内を希望しない方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
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  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
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本セミナーは終了いたしました。

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2024/5/16 酸化ガリウムの基礎とパワーデバイスの開発動向 オンライン