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酸化ガリウム (Ga2O3) の結晶成長・薄膜形成とデバイス応用

酸化ガリウム (Ga2O3) の結晶成長・薄膜形成とデバイス応用

~α相 β相 κ相 γ相 4つの結晶多形における研究開発動向を解説~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、次世代パワーデバイス材料として注目を集める酸化ガリウム (Ga2O3) を取り上げ、その結晶多形の特徴や形成技術、それぞれの課題について解説するとともに、ミストCVD法を中心に様々な手法でのそれぞれの結晶多形についての例を紹介いたします。

開催日

  • 2022年3月8日(火) 13時00分 16時30分

受講対象者

  • 酸化ガリウム半導体に関連する技術者、開発者、研究者
    • 電機
    • 半導体
    • 自動車部品
    • 化学
    • 半導体商社
    • 半導体装置
  • パワー半導体、半導体製造装置に関心のある方

修得知識

  • Ga2O3の基礎物性
  • Ga2O3の結晶成長技術
  • Ga2O3の結晶多形制御
  • ミストCVD法の原理
  • Ga2O3の各種形成法

プログラム

 酸化ガリウム (Ga2O3) は大きなバンドギャップと低コストで形成できるという特徴から新しいパワーデバイス半導体として大きな注目を浴びている。そのGa2O3は5つの結晶多形が存在し、その結晶多形によって異なる特徴を持つことから、それぞれ異なるデバイスへの応用が検討されている。
 本セミナーでは、酸化ガリウム (Ga2O3) の結晶多形の特徴や形成技術、またそれぞれの課題などについて説明する。形成技術については講演者が開発したミストCVD法を中心に、MBE法やMOCVD法などの手法でのそれぞれの結晶多形についての例を紹介する。また、パワーデバイス応用に重要な不純物添加技術や混晶化技術についても紹介する。

  1. 酸化ガリウムの基礎物性
    1. 酸化ガリウムの結晶多形
    2. 酸化ガリウムの結晶多形別の特徴
    3. 結晶多形による研究動向 (国内・海外)
  2. 酸化ガリウムの結晶成長・薄膜形成
    1. 成長・薄膜形成方法
    2. 結晶多形の成長制御方法
  3. ミストCVD法
    1. ミストCVD法の歴史
    2. ミストCVD法の原理
    3. ミストCVD法のGa2O3以外への適用例
  4. α相酸化ガリウムの結晶成長・薄膜形成
    1. α-Ga2O3の結晶成長
    2. 成長法
    3. 課題と高品質化
    4. 混晶化技術
    5. デバイス動作 (結晶成長から見た)
    6. n型制御
    7. p型制御
  5. β相酸化ガリウムの結晶成長・薄膜形成
    1. β-Ga2O3の結晶成長
    2. 成長法
    3. n型制御
    4. 混晶化技術
    5. デバイス動作 (結晶成長から見た)
  6. κ相酸化ガリウムの結晶成長・薄膜形成
    1. κ-Ga2O3の結晶成長
    2. 成長法
    3. 強誘電体特性とHEMT
    4. 混晶化技術
    5. 高品質化
  7. γ相酸化ガリウムの結晶成長・薄膜形成
    1. γ-Ga2O3の結晶成長
    2. 混晶化技術
    3. 成長法
  8. 結晶多形の制御方法
  9. まとめと展望
    • 質疑応答

講師

  • 西中 浩之
    京都工芸繊維大学 電気電子工学系
    准教授

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 30,400円 (税別) / 33,440円 (税込)
複数名
: 20,000円 (税別) / 22,000円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。

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開始日時 会場 開催方法
2024/5/16 酸化ガリウムの基礎とパワーデバイスの開発動向 オンライン