技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー

圧電材料を用いたMEMSデバイス開発への基礎知識とポイント

圧電材料を用いたMEMSデバイス開発への基礎知識とポイント

オンライン 開催

概要

本セミナーでは、MEMS材料の開発とデバイスへの応用、R&Dの進め方、事業化のための考え方を詳解いたします。

開催日

  • 2022年1月24日(月) 13時00分 16時30分

プログラム

 富士フイルムにて圧電材料そのものの開発、製造装置の設計さらにはMEMS事業をゼロから立ち上げてきた筆者が、経験を元に学術的な視点だけではなく実際に使える現場視点/産業界の視点から、MEMS材料の開発とデバイスへの応用を、R&Dの進め方、事業化のための考え方を伝授いたします。MEMS研究者だけではなく、研究をいかに進めるべきかの参考になります。

  1. 自己紹介
  2. はじめに
    1. MEMSとは?
    2. 静電MEMS
    3. 圧電MEMS
    4. 静電MEMS VS 圧電MEMS
    5. MEMSのコストイメージ
  3. 圧電材料と成膜方法
    1. ゾルゲル法、MOCVD法、スパッタ法、アロゾルデポジション法
    2. 圧電材料の種類と特徴
    3. 各社の圧電膜について
      • Pb系材料
      • KNN系材料
      • AlN系材料など
    4. 圧電膜の特性と適した応用先
  4. スパッタ法による高性能圧電体Nb-PZT材料の開発
    1. 材料開発のコンセプト
    2. スパッタ法における材料開発のテクニック
    3. Nb – PZT膜の特徴
    4. 分極レスの特徴によるメリット
  5. 圧電膜のMEMS応用
    1. 圧電MEMSのプロセスフロー
    2. インクジェットヘッドへの応用
    3. マイクロミラーへの応用
    4. その他の応用
    5. 国内外各社のMEMSデバイスに関する開発のトピックス
      • 国内MEMS関連企業
      • 海外MEMS関連企業
    6. 情報調査の方法について
  6. まとめ
    • 質疑応答

講師

主催

お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。

お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 30,400円 (税別) / 33,440円 (税込)
複数名
: 20,000円 (税別) / 22,000円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。