技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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株式会社 日立製作所
研究開発グループ
計測・エレクトロニクスイノベーションセンタ
ナノプロセス研究部
| 会場 | 開催方法 | ||
|---|---|---|---|
| 2019/12/16 | 半導体 (ウェット/ドライ) エッチングの基礎とプロセス制御・最新技術 | 東京都 | |
| 2019/9/10 | プラズマエッチングのプロセス制御とプラズマダメージの発生機構、抑制 | 東京都 | |
| 2018/7/25 | プラズマエッチングの必須基礎知識と表面反応制御・表面分析 | 東京都 | |
| 2018/3/26 | 原子層エッチングの原理、プロセス最適化と微細加工技術 | 東京都 | |
| 2017/4/24 | ウェットエッチングの仕上がり高精細化、エッチング液選定、評価 | 東京都 |
| 発行年月 | ||
|---|---|---|
| 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術 | 2022/10/31 | 在庫あり |