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電子デバイス製造における静電気対策 (ESD対策) の基礎と測定法・効果的な対策

電子デバイス製造における静電気対策 (ESD対策) の基礎と測定法・効果的な対策

～ESD対策に必要とされる各種測定機、その目的と使用方法 / 半導体・PCBA・シート材等の製造工程における問題と測定・対策～
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    • 概要

    本セミナーでは、静電気の基礎から解説し、ESD対策に関する最近の動向や効果的な静電気問題の対策方法について詳解いたします。

    開催日

    • 2024年11月21日(木) 13時00分 ～ 17時15分

    受講対象者

    • ESD対策の管理者・担当者
    • 品質管理の管理者・担当者
    • 製造・生産技術の担当者
    • これから静電気対策・静電気放電 (ESD) 対策に携わる方

    修得知識

    • 静電気・静電気放電 (ESD) の特性と挙動
    • 静電気測定の基本
    • 静電気対策に関する測定の基本
    • 各種電子デバイス工程における、静電気対策 (ESD対策) の基本と考え方
    • 各種電子デバイス工程における、静電気対策 (ESD対策) のキーポイントとその応用事例

    プログラム

    　近年の電子デバイス製造工程において、静電気帯電を起因とした不良・不具合問題の事例が多くなってきました。それに伴い、静電気放電 (ESD) 対策に関する対応が年々増えており、その内容も複雑かつ厳しい (低電位管理) 内容になってきております。
    　この様な現状の背景は、ESD対策において当初は人体帯電対策 (HBM) が主要なものでしたが、最近では帯電したデバイスの対策 (CDM) 、電子基板からの放電 (CBE) やケーブルからの放電 (CDE) 等様々な物の帯電が要因となるケースが増えてきているからです。さらに、PCBの実装工程や、製品組み立て工程におけるESD問題も、最近報告がされております。それに伴い、対策に対して新たな知見や知識が求められております。
    　今回のセミナーは、静電気の基礎からESD対策の解説を致します。特に静電気測定に関する基本的な方法や最近の動向、効果的な静電気問題の対策方法などの提案を含めた内容で解説致します。また、スライドでの説明だけではなく、実演や実験を行いながらなるべく分かりやすい説明を心がけます。

    1. 第1部:静電気対策 基礎編
      1. 静電気の基礎
        1. 静電気とは? (静電気利用と問題)
        2. 電荷・静電容量・電位
        3. 静電気発生のプロセス (摩擦・剥離・誘導と帯電列)
        4. 静電気放電 (ESD) のプロセス
          • コロナ
          • グロー
          • アーク
        5. 帯電電位と塵埃付着の関係 (エッジ効果)
        6. 静電気問題及び対策 (静電気の数値化・可視化)
          1. 抵抗測定器
            • 靴
            • リストストラップ
            • 床
            • 拡散性対策材料
          2. 静電気測定器
            • 電界計
            • ACFB表面電位計
            • DCFB表面電位計
            • 実演: 歩行中の人体帯電測定・対象物の大きさと測定精度
          3. 電荷量の測定 (ナノクーロンメーター)
          4. イオナイザーの検査・評価 (チャージド・プレートモニター)
          5. 静電気放電の検出
      2. 静電気による問題
        1. 人体帯電モデル (HBM)
        2. チャージドデバイスモデル (CDM)
        3. 帯電したPCB基板からの静電気放電 (CBE)
        4. 帯電したケーブルからの静電気放電 (CDE)
        5. 静電気帯電が形成する電界による誘導帯電
      3. 静電気対策
        1. 接地
        2. 導電性材料・拡散性材料の使用
          • 温湿度環境と表面抵抗値
          • 対策レベルと表面抵抗値
        3. 加湿 (湿度環境と静電気帯電電位の関係)
        4. 静電シールド (電界の遮蔽)
        5. イオナイザー
          1. イオンの生成方式
            • 放射線型
            • DC型
            • パルスDC型
            • AC型
            • パルスAC型
            • 高周波型
            • 次世代AC型
          2. 形式
            • バー型
            • デスクトップ型
            • オーバヘッド型
            • ノズル型
            • ガン型
          3. イオンバランス制御方式
            • センサーフードバック方式
            • 自己制御方式
          4. 性能評価
            • イオンバランス
            • イオンバランスの均一性
            • 減衰特性
            • 誘導帯電の有無
            • EMI
    2. 第2部:静電気対策 応用編
      1. ESD対策に必要とされる測定機とその目的や使用方法
        1. 抵抗測定器
          • 表面抵抗
          • 表面抵抗率
          • 接地間抵抗
        2. イオナイザーの評価器 (チャージドプレートモニター)
        3. 電位測定器
          • 人体
          • PCB
          • ID
          • 電子デバイス
        4. 放電検知器
        5. その他
      2. ESDトラブルシューティングを行う際の測定・対策ポイント
        1. PCBA工程
        2. 製品組み立て工程
        3. 半導体後工程
        4. 半導体前工程
        5. シート材製造 (フィルム等)
      • 質疑応答
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    講師

    • 山口 晋一 氏
      シシド静電気株式会社 営業本部 営業企画室
      上席顧問
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    主催

    サイエンス＆テクノロジー 株式会社
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    お問い合わせ

    本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
    (主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

    受講料

    1名様
    : 32,400円 (税別) / 35,640円 (税込)
    複数名
    : 22,500円 (税別) / 24,750円 (税込)

    複数名受講割引

    • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。
      • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 32,400円(税別) / 35,640円(税込)
      • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
      • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)
    • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
    • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
    • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
      申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
    • 他の割引は併用できません。
    • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

    アカデミー割引

    教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

    • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
    • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
    • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

    ライブ配信セミナーについて

    • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
    • お申し込み前に、 視聴環境 と テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
    • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
    • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
    • セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。
    • 開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。
      ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。
      印刷物は後日お手元に届くことになります。
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