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XPS (ESCA) の基礎と応用

XPS (ESCA) の基礎と応用

~X線光電子分光分析の正しい測定手順の理解と適切な分析運用、ノウハウ~
オンライン 開催

概要

本セミナーでは、XPSの原理、試料作製と測定条件の設定方法、データ解析を適切におこなうためのノウハウを紹介し、応用例を用いてわかりやすく解説いたします。

開催日

  • 2022年7月26日(火) 13時00分 16時30分

受講対象者

  • XPS (ESCA) 装置を使用する技術者、研究者、開発者
  • これからXPS (ESCA) 装置を使用する担当者
  • XPS (ESCA) データを解釈する必要がある方
  • 表面分析による解析を立案する必要がある方

修得知識

  • XPS分析の原理
  • XPS分析の進め方
  • XPS (ESCA) データ解釈の注意点
  • 各種表面分析の中でのXPS分析の特徴と組み合わせ方

プログラム

 電池・半導体・触媒など、さまざまな素材を組み合わせた複合材料・デバイスの開発をスピードアップする要求が高まっています。その開発には、素材の性能の向上だけでなく、素材を組み合わせたときの性能の発揮がきわめて重要です。このためには、接着、摩擦、電気伝導など素材の原子レベルの表面・界面で起こる問題をスピーディーに解決して、開発指針を得る必要があります。
 本セミナーでは、表面数十原子層の分析をおこなう表面分析の中でも最もポピュラーな、X線光電子分光法 (XPS、またはESCA) を取り上げ、原理、試料作製と測定条件の設定方法、データ解析を適切におこなうためのノウハウ、および最新のハードウェア技術の動向や最近の話題を取り上げ、装置ユーザーおよび材料開発に携わる方の基礎的な知識を解説します。

  1. 表面分析とは
    1. 表面・界面の重要性
    2. 各種表面分析手法
    3. 他の表面分析手法との比較
      • AES (オージェ電子分光法)
      • TOF-SIMS (飛行時間型二次イオン質量分析法)
  2. XPSの原理と特徴
    1. XPS装置の構成
    2. XPS分析の原理
    3. XPSスペクトルと化学シフト
    4. XPS分析が表面分析となる理由
    5. 深さ方向分析
    6. イメージング分析
  3. XPSの試料作成と測定条件
    1. 測定できる試料とその形状
    2. サンプリングの注意点
    3. 粉末試料
    4. 絶縁試料
    5. 電池材料、および導電物と絶縁物の混在試料
  4. 測定
    1. ワイドスペクトル (サーベイスペクトル)
    2. ナロースペクトル
  5. データ処理
    1. 定量計算
    2. 定量範囲の決定
    3. 化学状態の推定 (カーブフィッティング)
  6. 最新の測定技術
    1. マイクロXPS分析
    2. ガスクラスターイオン銃による有機試料の深さ方向分析
    3. 高エネルギーXPS (HAXPES)
    4. UPS (紫外光電子分光法) とLEIPS (逆光電子分光法)
    5. AESと組み合わせた分析
    6. TOF-SIMSと組み合わせた分析
  7. よくある質問
    • スピン軌道相互作用による2本のピーク
    • サテライトピーク
    • あり得ない (?) ピーク
    • 分析結果をきれいに見せる方法
    • XPSによる薄膜構造解析
  8. まとめ、質疑

講師

  • 眞田 則明
    アルバック・ファイ 株式会社 製品戦略部 製品企画室
    専門部長

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 30,400円 (税別) / 33,440円 (税込)
複数名
: 20,000円 (税別) / 22,000円 (税込)

複数名受講割引

  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)
  • 同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
  • 受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。
  • 請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
    申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
  • 他の割引は併用できません。
  • サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

  • 1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
  • 企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
  • お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
  • セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。
  • セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。
  • ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。
  • タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。
  • ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。
  • 講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。
  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
    万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。
本セミナーは終了いたしました。