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河合 晃

所属

長岡技術科学大学

役職

名誉教授

学位

博士 (工学)

専門

  • 濡れ
  • 表面・界面
  • 付着
  • 洗浄
  • デバイスプロセス

経歴

  • アドヒージョン株式会社 (研究成果活用企業 (大学ベンチャー) ) 代表取締役 兼務
  • 1983年4月〜1993年3月 三菱電機株式会社 ULSI研究所 主事
  • 1993年4月〜2007年3月 長岡技術科学大学 准教授
  • 2007年4月〜2013年9月 長岡技術科学大学 助教授
  • 2013年10月〜2022年3月 長岡技術科学大学 電気電子情報工学専攻 電子デバイス・フォトニクス工学講座 教授
  • 2022年4月 長岡技術科学大学 名誉教授

三菱電機 (株) ULSI研究所に10年間勤務し、機能性薄膜に関する研究開発、試作、量産移管、製品信頼性、歩留まり向上業務を担当。
NEDO技術委員、各種論文査読委員、日本接着学会評議員などを歴任
原著論文150報以上、国際学会発表100報、著書28冊、解説48報、依頼講演100件以上、など

受賞

  • 1999年6月23日 日本接着学会 進歩賞「原子間力顕微鏡を用いた表面相互作用力の解析」
  • 2002年6月23日 日本接着学会 ベストポスター賞「原子間力顕微鏡(AFM)を用いたサブミクロンサイズのラインレジストパターン表面のインデンテーション解析」
  • 2002年6月23日 日本接着学会 論文賞「原子間力顕微鏡(AFM)を用いた微細探針走査法によるフォトレジスト微細パターンの接着性解析」
  • 2005年6月22日 日本接着学会 ベストポスター賞「微細探針のインデンテーション法による高分子パターンの表面硬化層の解析」
  • 2005年6月23日 Photopolymer Science & Technology Committee Photopolymer Science and Technology Award

講演するセミナー

会場 開催方法
2025/12/11 レジストリソグラフィー技術の基礎と実務およびトラブル対策 オンライン