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服部 毅 (Hattori Consulting International)
所属
Hattori Consulting International
役職
代表
経歴
- 元 ソニー株式会社リサーチフェロー
- 韓国Hanyang大学 大学院客員教授
学協会
- 米国電気化学会(ECS) 主催 半導体洗浄国際会議 (SCST) 組織委員長・論文委員長
- IMEC 半導体表面超クリーン化プロセス国際会議 (UCPSS) 日本代表プログラム委員
- IEEE 半導体製造国際会議 (ISSM) 運営委員
- SEMI 日本地区 スタンダード委員会 委員
受賞
- 米国電気化学会 (ECS) フェロー
- 米国電気化学会 (ECS) 終身名誉会員
講演するセミナー
| 会場 | 開催方法 | ||
|---|---|---|---|
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2025/2/27 2025/3/24 |
半導体製造におけるシリコンウェーハ表面のクリーン化・歩留向上技術および洗浄・乾燥技術 (2コースセット) | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2025/2/27 | 半導体製造におけるシリコンウェーハの洗浄・乾燥および汚染除去技術の基礎から最新動向まで | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2025/3/24 | 半導体製造ラインのウェーハ表面洗浄・乾燥および汚染除去技術の基礎から最新動向まで | 東京都 | 会場・オンライン |
講演したセミナー
| 会場 | 開催方法 | ||
|---|---|---|---|
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2011/6/16 2011/6/17 |
半導体製造プロセスにおけるクリーン化技術と精密洗浄技術 | 東京都 |
著書
| 発行年月 | ||
|---|---|---|
| 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術 | 2022/10/31 | 在庫あり |